[实用新型]一种多罩体结构的四氯化硅生产用尾气回收装置

摘要

本实用新型公开了一种多罩体结构的四氯化硅生产用尾气回收装置，属于尾气回收装置技术领域，定位套底部等间距安装有连接杆，尾气回收罐安装在定位套中间处，注气口安装在尾气回收罐顶中部处，出气口安装在尾气回收罐底中部处，尾气回收罐内设有回收罩组件，尾气回收罐上设有单向阀导气组件，收集的气体对第一单向阀进行挤压，气体通过第一回收罩、第二回收罩、第三回收罩和第四回收罩，逐步进行填充，将出气口与淋洗塔进行连接，连接好后气体通过淋洗塔进行过滤，分开进行储存在排出时可以逐步进行排出，防止一次性排出量较大过滤不全面的的问题，通过第一单向阀、导气管和第二单向阀防止在不操作时气体泄漏的问题。