[实用新型]一种多罩体结构的四氯化硅生产用尾气回收装置

说明书

本实用新型公开了一种多罩体结构的四氯化硅生产用尾气回收装置，属于尾气回收装置技术领域，定位套底部等间距安装有连接杆，尾气回收罐安装在定位套中间处，注气口安装在尾气回收罐顶中部处，出气口安装在尾气回收罐底中部处，尾气回收罐内设有回收罩组件，尾气回收罐上设有单向阀导气组件，收集的气体对第一单向阀进行挤压，气体通过第一回收罩、第二回收罩、第三回收罩和第四回收罩，逐步进行填充，将出气口与淋洗塔进行连接，连接好后气体通过淋洗塔进行过滤，分开进行储存在排出时可以逐步进行排出，防止一次性排出量较大过滤不全面的的问题，通过第一单向阀、导气管和第二单向阀防止在不操作时气体泄漏的问题。

技术领域

本实用新型涉及一种四氯化硅生产用尾气回收装置，特别是涉及一种多罩体结构的四氯化硅生产用尾气回收装置，属于尾气回收装置技术领域。

背景技术

四氯化硅是一种无机物，高纯度四氯化硅为无色透明液体，有窒息性的气味，常温常压下密度1.48，熔点-70℃，沸点57.6℃，沸点随着压力增高而增高。

在潮湿的空气中四氯化硅水解而成二氧化硅和氯化氢，同时发生白烟，遇热或遇水分解放热，放出有毒的腐蚀性烟气，在潮湿的空气中存在下对很多金属有腐蚀性，遇水时水解作用激烈，也能和醇类起激烈的反应，四氯化硅对眼睛及上呼吸道有强烈刺激的作用，高浓度可引起角膜浑浊，呼吸道炎症，甚至肺水肿，眼直接接触可导致角膜及眼睑严重的伤，皮肤接触后可引起组织坏死，可引起溶血反应而导致贫血，四氯化硅对环境有危害，对水体、土壤和大气造成污染。

现有的四氯化硅生产所产生的尾气回收装置多是通体装置，会导致在过滤时导气时会导致气体排出的速度较快，导致尾气处理的压力较大，处理的不够全面，因此急需一种多罩体结构的四氯化硅生产用尾气回收装置，解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的主要目的是为了提供一种多罩体结构的四氯化硅生产用尾气回收装置，工作人员通过定位套和连接杆将尾气回收罐进行连接，连接好后通过注气口与生产设备进行连接对尾气进行收集，收集的气体对第一单向阀进行挤压，气体通过第一回收罩、第二回收罩、第三回收罩和第四回收罩，逐步进行填充，将出气口与淋洗塔进行连接，连接好后气体通过淋洗塔进行过滤，分开进行储存在排出时可以逐步进行排出，防止一次性排出量较大过滤不全面的的问题，通过第一单向阀、导气管和第二单向阀防止在不操作时气体泄漏的问题。

本实用新型的目的可以通过采用如下技术方案达到：

一种多罩体结构的四氯化硅生产用尾气回收装置，包括定位套、连接杆、尾气回收罐、注气口和出气口，定位套底部等间距安装有连接杆，尾气回收罐安装在定位套中间处，注气口安装在尾气回收罐顶中部处，出气口安装在尾气回收罐底中部处，尾气回收罐内设有回收罩组件，尾气回收罐上设有单向阀导气组件。

优选的，回收罩组件包括第一回收罩、第二回收罩、第三回收罩和第四回收罩，第一回收罩设在尾气回收罐中间一侧处，第二回收罩设在第一回收罩一侧处，第三回收罩设在第二回收罩一侧处，第四回收罩设在第三回收罩一侧处。

优选的，单向阀导气组件包括第一单向阀、导气管和第二单向阀，第一单向阀安装在注气口中间处，第二单向阀安装在出气口中间处，导气管等间距安装在第二回收罩和第三回收罩中间处。

优选的，尾气回收罐、第一回收罩、第二回收罩、导气管、第三回收罩和第四回收罩内壁均设有防腐层。

本实用新型的有益技术效果：

本实用新型提供的一种多罩体结构的四氯化硅生产用尾气回收装置，工作人员通过定位套和连接杆将尾气回收罐进行连接，连接好后通过注气口与生产设备进行连接对尾气进行收集，收集的气体对第一单向阀进行挤压，气体通过第一回收罩、第二回收罩、第三回收罩和第四回收罩，逐步进行填充，将出气口与淋洗塔进行连接，连接好后气体通过淋洗塔进行过滤，分开进行储存在排出时可以逐步进行排出，防止一次性排出量较大过滤不全面的的问题，通过第一单向阀、导气管和第二单向阀防止在不操作时气体泄漏的问题。