[实用新型]一种多罩体结构的四氯化硅生产用尾气回收装置

权利要求书

1.一种多罩体结构的四氯化硅生产用尾气回收装置，其特征在于：包括定位套(1)、连接杆(2)、尾气回收罐(3)、注气口(4)和出气口(6)，定位套(1)底部等间距安装有连接杆(2)，尾气回收罐(3)安装在定位套(1)中间处，注气口(4)安装在尾气回收罐(3)顶中部处，出气口(6)安装在尾气回收罐(3)底中部处，尾气回收罐(3)内设有回收罩组件，尾气回收罐(3)上设有单向阀导气组件。

2.根据权利要求1所述的一种多罩体结构的四氯化硅生产用尾气回收装置，其特征在于：回收罩组件包括第一回收罩(7)、第二回收罩(8)、第三回收罩(10)和第四回收罩(11)，第一回收罩(7)设在尾气回收罐(3)中间一侧处，第二回收罩(8)设在第一回收罩(7)一侧处，第三回收罩(10)设在第二回收罩(8)一侧处，第四回收罩(11)设在第三回收罩(10)一侧处。

3.根据权利要求2所述的一种多罩体结构的四氯化硅生产用尾气回收装置，其特征在于：单向阀导气组件包括第一单向阀(5)、导气管(9)和第二单向阀(12)，第一单向阀(5)安装在注气口(4)中间处，第二单向阀(12)安装在出气口(6)中间处，导气管(9)等间距安装在第二回收罩(8)和第三回收罩(10)中间处。

4.根据权利要求3所述的一种多罩体结构的四氯化硅生产用尾气回收装置，其特征在于：尾气回收罐(3)、第一回收罩(7)、第二回收罩(8)、导气管(9)、第三回收罩(10)和第四回收罩(11)内壁均设有防腐层。