[实用新型]一种特殊定制形状晶圆镀膜夹具

摘要

本实用新型公开了一种特殊定制形状晶圆镀膜夹具，包括夹具本体，夹具本体外沿为圆形，夹具本体内设置有方形开口，方形开口处正面向内设置有凹台，凹台上下侧的夹具本体上开设有调节槽，调节槽内设置有可沿调节槽移动的调节卡扣，调节卡扣沿凹台上下侧位置调节，调节卡扣上开设有腰圆孔，调节槽内设置有螺纹孔，螺纹孔上螺纹连接有旋钮，旋钮沿腰圆孔调节紧固调节卡扣。本实用新型提供了一种特殊定制形状晶圆镀膜夹具，便于特殊定制的方形晶圆在原有真空溅射镀膜机上完成镀膜工艺，无需重新定制真空溅射镀膜机，节约成本，通过调节卡扣固定晶圆，保证其在镀膜过程中不发生松动，影响镀膜质量，且调节卡扣可在一定范围尺寸内调节，适用范围广。