[实用新型]一种特殊定制形状晶圆镀膜夹具

权利要求书

1.一种特殊定制形状晶圆镀膜夹具，包括夹具本体，其特征是，所述夹具本体外沿为圆形，夹具本体内设置有方形开口，方形开口处正面向内设置有凹台，凹台上下侧的夹具本体上开设有调节槽，调节槽内设置有可沿调节槽移动的调节卡扣，调节卡扣沿凹台上下侧位置调节，调节卡扣上开设有腰圆孔，调节槽内设置有螺纹孔，螺纹孔上螺纹连接有旋钮，旋钮沿腰圆孔调节紧固调节卡扣。

2.根据权利要求1所述的一种特殊定制形状晶圆镀膜夹具，其特征是，所述凹台四边的夹具本体上分别开设有取料口。

3.根据权利要求1所述的一种特殊定制形状晶圆镀膜夹具，其特征是，所述夹具本体外沿设置有斜切口。

4.根据权利要求1所述的一种特殊定制形状晶圆镀膜夹具，其特征是，所述旋钮采用M6螺栓。

5.根据权利要求1所述的一种特殊定制形状晶圆镀膜夹具，其特征是，所述夹具本体的外径D与标准圆形晶圆配合。