[实用新型]一种特殊定制形状晶圆镀膜夹具

说明书

本实用新型公开了一种特殊定制形状晶圆镀膜夹具，包括夹具本体，夹具本体外沿为圆形，夹具本体内设置有方形开口，方形开口处正面向内设置有凹台，凹台上下侧的夹具本体上开设有调节槽，调节槽内设置有可沿调节槽移动的调节卡扣，调节卡扣沿凹台上下侧位置调节，调节卡扣上开设有腰圆孔，调节槽内设置有螺纹孔，螺纹孔上螺纹连接有旋钮，旋钮沿腰圆孔调节紧固调节卡扣。本实用新型提供了一种特殊定制形状晶圆镀膜夹具，便于特殊定制的方形晶圆在原有真空溅射镀膜机上完成镀膜工艺，无需重新定制真空溅射镀膜机，节约成本，通过调节卡扣固定晶圆，保证其在镀膜过程中不发生松动，影响镀膜质量，且调节卡扣可在一定范围尺寸内调节，适用范围广。

技术领域

本实用新型涉及半导体行业镀膜技术领域，尤其涉及一种特殊定制形状晶圆镀膜夹具。

背景技术

目前半导体行业大部分的真空溅射镀膜机可以用于标准圆形晶圆，例如6英寸,8英寸或者12英寸晶圆等。但是市场上对方形晶圆的镀膜的需求越来越大。短时间内，镀膜机厂家的标准夹具只能适合圆形晶圆的固定，目前没有方案解决方形晶圆的装载及镀膜问题。因此，我们根据方形晶圆尺寸定制设计了一种特殊定制形状晶圆镀膜夹具，来实现在原有真空溅射镀膜机上完成方形晶圆镀膜工艺，从而满足客户的产品需求。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型设计了一种特殊定制形状晶圆镀膜夹具。

本实用新型采用如下技术方案：

一种特殊定制形状晶圆镀膜夹具，包括夹具本体，夹具本体外沿为圆形，夹具本体内设置有方形开口，方形开口处正面向内设置有凹台，凹台上下侧的夹具本体上开设有调节槽，调节槽内设置有可沿调节槽移动的调节卡扣，调节卡扣沿凹台上下侧位置调节，调节卡扣上开设有腰圆孔，调节槽内设置有螺纹孔，螺纹孔上螺纹连接有旋钮，旋钮沿腰圆孔调节紧固调节卡扣。

作为优选，所述凹台四边的夹具本体上分别开设有取料口。便于方形晶圆的取放。

作为优选，所述夹具本体外沿设置有斜切口。便于夹具本体的取放。

作为优选，所述旋钮采用M6螺栓。

作为优选，所述夹具本体的外径D与标准圆形晶圆配合。例如6英寸，8英寸或者12英寸标准圆形晶圆等。

本实用新型的有益效果是：本实用新型提供了一种特殊定制形状晶圆镀膜夹具，夹具本体外沿为圆形，夹具本体内设置有方形开口，方形开口处正面向内设置有凹台，便于特殊定制的方形晶圆在原有真空溅射镀膜机上装夹后完成镀膜工艺，无需重新采购真空溅射镀膜机，节约成本，通过调节卡扣固定晶圆，保证其在镀膜过程中不发生松动，影响镀膜质量，且调节卡扣可在一定范围尺寸内调节，适用范围广。

附图说明

图1是本实用新型使用状态的一种结构示意图；

图2是图1中A-A方向的一种剖视图；

图3是本实用新型的一种结构示意图；

图中：1、夹具本体，2、调节槽，3、调节卡扣，4、晶圆，5、旋钮，6、开口，7、凹台，8、取料口，9、螺纹孔，10、斜切口。

具体实施方式

下面通过具体实施例，并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步的具体描述：

实施例：如图1-图3所示，一种特殊定制形状晶圆镀膜夹具，包括夹具本体1，夹具本体外沿为圆形，夹具本体内设置有方形开口6，方形开口处正面向内设置有凹台7，凹台上下侧的夹具本体上开设有调节槽2，调节槽内设置有可沿调节槽移动的调节卡扣3，调节卡扣沿凹台上下侧位置调节，调节卡扣上开设有腰圆孔，调节槽内设置有螺纹孔9，螺纹孔上螺纹连接有旋钮5，旋钮沿腰圆孔调节紧固调节卡扣。