[实用新型]一种高空间利用率的双面薄膜蒸镀机有效

专利信息
申请号: 202123193311.9 申请日: 2021-12-17
公开(公告)号: CN216688295U 公开(公告)日: 2022-06-07
发明(设计)人: 臧世伟 申请(专利权)人: 重庆金美新材料科技有限公司
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24;C23C14/56;C23C14/50
代理公司: 北京卓岚智财知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11624 代理人: 沈煜华
地址: 401420 重庆市綦江*** 国省代码: 重庆;50
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摘要: 实用新型实施例提供了一种高空间利用率的双面薄膜蒸镀机,设置在真空腔室中,包括蒸镀机构和转向机构,其中,蒸镀机构包括蒸镀架,竖直安装在真空腔室的内,在蒸镀架上设置有放卷部和收卷部,在放卷部和收卷部之间设置有多个蒸镀源,转向机构包括多个转向辊,分别安装在所述蒸镀架的两侧,用于对蒸镀的薄膜进行转向,使薄膜依次经过多个蒸镀源进行双面蒸镀,本申请通过蒸镀架和真空腔体配合镀膜,通过调整蒸镀架的位置来调节走膜组件之间的薄膜段的张力,以提高薄膜蒸镀质量。
搜索关键词: 一种 空间 利用率 双面 薄膜 蒸镀机
【主权项】:
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