[实用新型]一种高空间利用率的双面薄膜蒸镀机

说明书

本实用新型实施例提供了一种高空间利用率的双面薄膜蒸镀机，设置在真空腔室中，包括蒸镀机构和转向机构，其中，蒸镀机构包括蒸镀架，竖直安装在真空腔室的内，在蒸镀架上设置有放卷部和收卷部，在放卷部和收卷部之间设置有多个蒸镀源，转向机构包括多个转向辊，分别安装在所述蒸镀架的两侧，用于对蒸镀的薄膜进行转向，使薄膜依次经过多个蒸镀源进行双面蒸镀，本申请通过蒸镀架和真空腔体配合镀膜，通过调整蒸镀架的位置来调节走膜组件之间的薄膜段的张力，以提高薄膜蒸镀质量。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，具体涉及一种高空间利用率的双面薄膜蒸镀机。

背景技术

蒸镀是指将待蒸镀材料放置在坩埚等耐高温容器里，加热使其融化，从而使得待蒸镀材料气化，沉积在路过的薄膜上。现有技术中，辊等走膜组件全部安装在真空壁上，如果想要调整走膜过程中薄膜在各个走膜组件之间的张力，或者需要更换配件时，需要工作人员爬上真空腔体壁，既不便于操作，而且有一定危险性。

基于此，本实用新型设计了一种高空间利用率的双面薄膜蒸镀机，以解决上述问题。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型实施例的目的在于提供一种高空间利用率的双面薄膜蒸镀机，以解决现有技术便于调整走膜过程中各个走膜组件之间薄膜的张力，以及易于更换配件的技术问题。

为达上述目的，本实用新型提供了一种高空间利用率的双面薄膜蒸镀机，所述双面薄膜蒸镀机设置在真空腔室中，包括蒸镀机构和转向机构，其中，

所述蒸镀机构包括：

蒸镀架，沿竖直方向安装在所述真空腔室的内部；以及在所述蒸镀架上设置有放卷部和收卷部，在所述放卷部和所述收卷部之间设置有多个蒸镀源；

所述转向机构包括：多个转向辊，分别位于所述蒸镀架的两侧。

在一些可能的实施方式中，所述多个转向辊包括：

第一转向辊和第二转向辊，位于所述蒸镀架的第一侧，并安装于所述真空腔室的侧壁上；

第三转向辊和第四转向辊，位于所述蒸镀架的第二侧，并安装于所述真空腔室的侧壁上；

所述多个蒸镀源包括：

第一蒸镀源和第二蒸镀源，分别与所述蒸镀架上下移动的连接，且在竖直方向上的高度依次递增。

在一些可能的实施方式中，所述第一转向辊、所述第二转向辊、所述第三转向辊和所述第四转向辊的两端设置有旋转接头，通过两端的旋转接头分别与所述真空腔室的侧壁转动连接。

在一些可能的实施方式中，所述第一转向辊的顶部切面和所述第三转向辊的底部切面在同一水平面上；

所述第二转向辊的底部切面和所述第四转向辊的顶部切面在同一个水平面上。

在一些可能的实施方式中，所述真空腔室底部设置有可移动机构，所述可移动机构位于所述蒸镀架两侧的多个转向辊之间，所述蒸镀架通过所述可移动机构与真空腔室底部连接。

在一些可能的实施方式中，所述第一转向辊、所述第二转向辊、所述第三转向辊和所述第四转向辊的表面为隔热层，所述第一转向辊、所述第三转向辊、所述第四转向辊和所述第二转向辊在竖直方向的高度依次递增，且所述第三转向辊与所述蒸镀架之间的横向距离不等于所述第四转向辊与所述蒸镀架之间的横向距离。

在一些可能的实施方式中，所述蒸镀架为内部中空的圆柱体或长方体，在所述内部中空的圆柱体或长方体内设置有电源；

所述第一蒸镀源和所述第二蒸镀源包括本体，所述本体内部设置有热源，所述热源与所述电源电连接，通过控制所述电源的通断来启动或者关闭所述第一蒸镀源和所述第二蒸镀源。