[实用新型]一种靶材喷涂设备用冷却装置及靶材喷涂设备

摘要

本实用新型涉及一种靶材喷涂设备用冷却装置及靶材喷涂设备，靶材喷涂设备包括喷涂仓、除尘机构和回气管，除尘机构具有进气口和出气口，喷涂仓相应地设有除尘口和回气口，除尘口连通除尘装置的进气口，回气管把回气口和出气口连接起来，喷涂设备还包括冷却装置，冷却装置包括风机和冷却器，风机的进风口连通回气管而出风口连接冷却器，冷却器的出气管出口朝向喷涂仓中靶材背管的喷涂部位。喷涂仓中的含尘气体在除尘机构中除掉粉尘后，回流到回气管中，一部分经风机加压后进入冷却器中，在冷却器中冷却后通过出气管输送到喷涂仓中对靶材背管的喷涂部位进行冷却。