[实用新型]一种靶材喷涂设备用冷却装置及靶材喷涂设备

说明书

本实用新型涉及一种靶材喷涂设备用冷却装置及靶材喷涂设备，靶材喷涂设备包括喷涂仓、除尘机构和回气管，除尘机构具有进气口和出气口，喷涂仓相应地设有除尘口和回气口，除尘口连通除尘装置的进气口，回气管把回气口和出气口连接起来，喷涂设备还包括冷却装置，冷却装置包括风机和冷却器，风机的进风口连通回气管而出风口连接冷却器，冷却器的出气管出口朝向喷涂仓中靶材背管的喷涂部位。喷涂仓中的含尘气体在除尘机构中除掉粉尘后，回流到回气管中，一部分经风机加压后进入冷却器中，在冷却器中冷却后通过出气管输送到喷涂仓中对靶材背管的喷涂部位进行冷却。

技术领域

本实用新型涉及涂装设备技术领域，具体涉及一种靶材喷涂设备用冷却装置及靶材喷涂设备。

背景技术

在生产镀膜靶材的工艺过程中，会把靶材背管置于喷涂设备的喷涂仓中，用熔融的焰流对靶材进行热喷涂，在靶材表面镀上涂层。熔融的焰流温度极高，容易导致靶材背管喷涂部位过热膨胀，造成涂层开裂等问题，影响成品率，因此在喷涂过程中需要对靶材背管进行冷却。目前常用的冷却方式是把靶材背管套在旋转工装上，在旋转工装上设置冷却水路对旋转工装进行冷却，旋转工装通过热传导对靶材背管进行冷却，这种方式冷却效果不理想，仍然会造成涂层开裂。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种靶材喷涂设备用冷却装置及靶材喷涂设备，能对靶材背管喷涂部位进行冷却降温，防止涂层开裂。

为实现上述目的，本实用新型提供一种靶材喷涂设备用冷却装置，包括风机和冷却器，风机的进风口用于连通喷涂仓的回气管，风机的出风口连接冷却器，冷却器的出气管出口朝向喷涂仓中靶材背管的喷涂部位。

进一步地，所述冷却器包括壳体，所述壳体为卧置的筒状，壳体筒两端分别连通风机的出风口和所述出气管，壳体内并排有多条轴向冷却管，壳体和冷却管之间形成容纳冷却介质的冷却腔，风机输出的气体进入冷却管被冷却腔的冷却介质冷却后，输送至冷却器的出气管。

进一步地，其特征在于，所述冷却介质是冷却液。

还提供一种靶材喷涂设备，包括喷涂仓、除尘机构和回气管，除尘机构具有进气口和出气口，喷涂仓相应地设有除尘口和回气口，除尘口连通除尘机构的进气口，回气管把回气口和出气口连接起来，包括上述的冷却装置，所述风机的进风口连通回气管。

有益效果：风机的进风口连通回气管，喷涂仓中的含尘气体在除尘机构中除掉粉尘后，回流到回气管中，一部分经风机加压后进入冷却器中，在冷却器中冷却后通过出气管输送到喷涂仓中对靶材背管的喷涂部位进行冷却，防止因靶材背管过热膨胀而导致涂层开裂，用回流的气体进行冷却，无需另外输送气体，在不增加工艺成本的情况下，能使喷涂仓保持真空状态(工业上的真空指的是气压比一标准大气压小的气体空间)，避免影响涂层和靶材背管的结合强度，又能达到快速冷却效果。

附图说明

图1为喷涂设备的结构示意图；

图2为冷却器的结构示意图；

图3位冷却器的结构示意图(隐去了壳体)；

图4位冷却器的剖面视图。

具体实施方式

以下结合具体实施方式对本发明创造作进一步详细说明。