[实用新型]一种液体氯硅烷泄漏后的回收系统有效
| 申请号： | 202122916544.0 | 申请日： | 2021-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN216280684U | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 任喆祥;罗佳林;马晓亮;马伟春;李涛 | 申请（专利权）人： | 新疆大全新能源股份有限公司 |
| 主分类号： | F17D1/14 | 分类号： | F17D1/14;F17D1/13;F17D3/01;F16L11/12;F16L11/08;B01D35/02;B60P3/22;C01B33/107 |
| 代理公司： | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 | 代理人： | 孟阿妮;张小勇 |
| 地址： | 832000 新疆维吾尔自治区*** | 国省代码： | 新疆;65 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及多晶硅生产设备技术领域，尤其涉及一种液体氯硅烷泄漏后的回收系统，其包括:气动隔膜计量泵、收集罐、转液泵和事故罐；气动隔膜计量泵的进液口连接有输液管道一；输液管道一的入口处具有过滤网；收集罐的上部具有液体入口一；液体入口一通过输液管道二与气动隔膜计量泵的出液口连通；收集罐的上部具有液体入口二；液体入口二通过输液管道三与废气管网连通；收集罐的上部具有氮气输入口；收集罐的下部具有输出口；转液泵的进液口通过输液管道四与输出口连通；输液管道四上连接有氮气管；转液泵的出液口连接有输液管道五；事故罐通过输液管道六与输液管道五的连接。采用本实用新型能够减少物料浪费，减少对环境的污染。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 液体 硅烷 泄漏 回收 系统 | ||
【主权项】：
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