[实用新型]一种液体氯硅烷泄漏后的回收系统

说明书

本实用新型涉及多晶硅生产设备技术领域，尤其涉及一种液体氯硅烷泄漏后的回收系统，其包括:气动隔膜计量泵、收集罐、转液泵和事故罐；气动隔膜计量泵的进液口连接有输液管道一；输液管道一的入口处具有过滤网；收集罐的上部具有液体入口一；液体入口一通过输液管道二与气动隔膜计量泵的出液口连通；收集罐的上部具有液体入口二；液体入口二通过输液管道三与废气管网连通；收集罐的上部具有氮气输入口；收集罐的下部具有输出口；转液泵的进液口通过输液管道四与输出口连通；输液管道四上连接有氮气管；转液泵的出液口连接有输液管道五；事故罐通过输液管道六与输液管道五的连接。采用本实用新型能够减少物料浪费，减少对环境的污染。

技术领域

本实用新型涉及多晶硅生产设备技术领域，尤其涉及一种液体氯硅烷泄漏后的回收系统。

背景技术

氯硅烷是一种化学品，用作生产多晶硅的原料，其主要是三氯氢硅、四氯化硅、二氯二氢硅的混合物，可燃易挥发，易水解，在空气中发烟。氯硅烷能与含活泼氢的化合物进行激烈反应，如与水、醇、酚、硅醇、有机酸等反应，放出氯化氢。氯硅烷与有机金属化合物反应，氯原子被相应的有机基取代，生成有机氯硅烷或有机硅烷。在生产多晶硅时，氯硅烷易发生泄漏，氯硅烷与潮湿空气发生反应，现场刺激性气味较浓，处理不及时会造成事故扩大化，甚至会发生火灾或者爆炸或者人员中毒事故，或者引起环保事故。目前，在多晶硅的生产过程中，氯硅烷泄漏大多用沙土填埋，消防水冲洗，造成原料浪费，无法回收，污染环境。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供一种液体氯硅烷泄漏后的回收系统，主要目的在于减少物料浪费，减少对环境的污染，避免产生安全风险。

为达到上述目的，本实用新型主要提供如下技术方案：

本实用新型的实施例提供一种液体氯硅烷泄漏后的回收系统，包括:气动隔膜计量泵、收集罐、转液泵和事故罐；

所述气动隔膜计量泵的进液口连接有输液管道一；所述输液管道一的入口处具有过滤网；

所述收集罐的上部具有液体入口一；所述液体入口一通过输液管道二与所述气动隔膜计量泵的出液口连通；所述输液管道二上设置有阀门一；

所述收集罐的上部具有液体入口二；所述液体入口二通过输液管道三与废气管网连通；所述输液管道三上设置有阀门二；

所述收集罐的上部具有氮气输入口；所述氮气输入口上设置有阀门三；

所述收集罐的下部具有输出口；所述输出口上设置有阀门四；

所述收集罐的下部设置有下视镜；所述收集罐的上部设置有上视镜；

所述转液泵的进液口通过输液管道四与所述输出口连通；所述转液泵的进液口设置有阀门五；所述输液管道四上设置有阀门六；

所述输液管道四上连接有氮气管；所述氮气管上设置有阀门七；

所述转液泵的出液口上设置有阀门八；所述转液泵的出液口连接有输液管道五；所述输液管道五的输入端设置有阀门九；所述输液管道五的输出端设置有阀门十；所述输液管道五的输出端与导淋管线连接；所述导淋管线上设置有阀门十一；

所述事故罐通过输液管道六与所述输液管道五的输出端连接；所述输液管道六的输入端设置有阀门十二；所述输液管道六的输出端设置有阀门十三。

进一步地，还包括：车体；

所述车体上设置有行走机构；

所述气动隔膜计量泵、所述收集罐、所述转液泵和所述事故罐固定地设置在所述车体上。

进一步地，所述阀门一、所述阀门二、所述阀门三、所述阀门四、所述阀门五、所述阀门六、所述阀门七、所述阀门八、所述阀门九、所述阀门十、所述阀门十一、所述阀门十二和所述阀门十三为电磁阀。