[实用新型]一种液体氯硅烷泄漏后的回收系统

权利要求书

1.一种液体氯硅烷泄漏后的回收系统，其特征在于，包括:气动隔膜计量泵、收集罐、转液泵和事故罐；

所述气动隔膜计量泵的进液口连接有输液管道一；所述输液管道一的入口处具有过滤网；

所述收集罐的上部具有液体入口一；所述液体入口一通过输液管道二与所述气动隔膜计量泵的出液口连通；所述输液管道二上设置有阀门一；

所述收集罐的上部具有液体入口二；所述液体入口二通过输液管道三与废气管网连通；所述输液管道三上设置有阀门二；

所述收集罐的上部具有氮气输入口；所述氮气输入口上设置有阀门三；

所述收集罐的下部具有输出口；所述输出口上设置有阀门四；

所述收集罐的下部设置有下视镜；所述收集罐的上部设置有上视镜；

所述转液泵的进液口通过输液管道四与所述输出口连通；所述转液泵的进液口设置有阀门五；所述输液管道四上设置有阀门六；

所述输液管道四上连接有氮气管；所述氮气管上设置有阀门七；

所述转液泵的出液口上设置有阀门八；所述转液泵的出液口连接有输液管道五；所述输液管道五的输入端设置有阀门九；所述输液管道五的输出端设置有阀门十；所述输液管道五的输出端与导淋管线连接；所述导淋管线上设置有阀门十一；

所述事故罐通过输液管道六与所述输液管道五的输出端连接；所述输液管道六的输入端设置有阀门十二；所述输液管道六的输出端设置有阀门十三。

2.根据权利要求1所述的液体氯硅烷泄漏后的回收系统，其特征在于，还包括：车体；

所述车体上设置有行走机构；

所述气动隔膜计量泵、所述收集罐、所述转液泵和所述事故罐固定地设置在所述车体上。

3.根据权利要求2所述的液体氯硅烷泄漏后的回收系统，其特征在于，

所述阀门一、所述阀门二、所述阀门三、所述阀门四、所述阀门五、所述阀门六、所述阀门七、所述阀门八、所述阀门九、所述阀门十、所述阀门十一、所述阀门十二和所述阀门十三为电磁阀。

4.根据权利要求3所述的液体氯硅烷泄漏后的回收系统，其特征在于，

所述收集罐内设置有液位检测传感器。

5.根据权利要求4所述的液体氯硅烷泄漏后的回收系统，其特征在于，还包括：控制装置；

所述控制装置分别与所述气动隔膜计量泵、所述转液泵、所述液位检测传感器、所述阀门一、所述阀门二、所述阀门三、所述阀门四、所述阀门五、所述阀门六、所述阀门七、所述阀门八、所述阀门九、所述阀门十、所述阀门十一、所述阀门十二和所述阀门十三连接，以进行控制。

6.根据权利要求5所述的液体氯硅烷泄漏后的回收系统，其特征在于，

所述输液管道一、所述输液管道二、所述输液管道三、所述输液管道四、所述输液管道五和所述输液管道六为透明橡胶软管。

7.根据权利要求6所述的液体氯硅烷泄漏后的回收系统，其特征在于，

所述透明橡胶软管内嵌设有金属丝网。

8.根据权利要求7所述的液体氯硅烷泄漏后的回收系统，其特征在于，还包括：氮气储罐；

所述氮气储罐设置在所述车体上；所述氮气储罐分别与所述氮气输入口和所述氮气管连通，以提供带压氮气。

9.根据权利要求8所述的液体氯硅烷泄漏后的回收系统，其特征在于，

所述输液管道一的入口处的直径较所述输液管道一的主体的直径大。

10.根据权利要求9所述的液体氯硅烷泄漏后的回收系统，其特征在于，

所述车体上具有支架；所述支架上具有管路卡口。