[实用新型]一种单面自动光刻机有效
| 申请号： | 202122620374.1 | 申请日： | 2021-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN216622957U | 公开（公告）日： | 2022-05-27 |
| 发明（设计）人： | 张其文;扶小莲;刘阳波;陈正洪 | 申请（专利权）人： | 四川鸿源鼎芯科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 成都信捷同创知识产权代理事务所(普通合伙) 51323 | 代理人： | 左正超 |
| 地址： | 610199 四川省成都市龙泉*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型属于光刻机技术领域，公开了一种单面自动光刻机，包括机架，机架上设有可圆周转动的机械臂，机械臂的外围沿圆周分布有上料工位、预对位工位、对位工位、NG工位和下料工位，上料工位处设有上料盒，预对位工位处设有预对位装置，对位工位处设有XYY平台、承片台、升降单元和曝光机构，NG工位处设有NG料盒，下料工位处设有下料盒；XYY平台安装在升降单元的自由端上，承片台安装在XYY平台的自由端上，曝光机构位于承片台上方。本实用新型所提供的一种单面自动光刻机，通过机械臂将硅片依次放入各工位进行作业，整个过程不需要人为操作，实现全自动化控制，有效提高工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单面 自动 光刻 | ||
【主权项】：
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