[实用新型]一种单面自动光刻机有效
| 申请号： | 202122620374.1 | 申请日： | 2021-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN216622957U | 公开（公告）日： | 2022-05-27 |
| 发明（设计）人： | 张其文;扶小莲;刘阳波;陈正洪 | 申请（专利权）人： | 四川鸿源鼎芯科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 成都信捷同创知识产权代理事务所(普通合伙) 51323 | 代理人： | 左正超 |
| 地址： | 610199 四川省成都市龙泉*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 单面 自动 光刻 | ||
1.一种单面自动光刻机，其特征在于：包括机架(1)，机架(1)上设有可圆周转动的机械臂(2)，机械臂(2)的外围沿圆周分布有上料工位、预对位工位、对位工位、NG工位和下料工位，上料工位处设有上料盒(3)，预对位工位处设有预对位装置(4)，对位工位处设有XYY平台、承片台(5)、升降单元(6)和曝光机构，NG工位处设有NG料盒(7)，下料工位处设有下料盒(8)；XYY平台安装在升降单元(6)的自由端上，承片台(5)安装在XYY平台的自由端上，曝光机构位于承片台(5)上方。
2.根据权利要求1所述的单面自动光刻机，其特征在于：所述预对位装置(4)包括预对位台(11)，预对位台(11)的两侧分别设有第一气缸(12)和第二气缸(13)，第一气缸(12)上设有第一推爪(14)，第二气缸(13)上设有第二推爪(15)；预对位台(11)的上方设有第一摄像头(16)。
3.根据权利要求2所述的单面自动光刻机，其特征在于：所述第一推爪(14)上设有第一弧形槽(20)和第二弧形槽(21)，第二推爪(15)上设有第三弧形槽和第四弧形槽，第一弧形槽(20)与第三弧形槽相对设置，第二弧形槽(21)和第四弧形槽相对设置。
4.根据权利要求2所述的单面自动光刻机，其特征在于：所述机架(1)上设有支撑杆(17)，支撑杆(17)上安装有第三气缸(18)，第三气缸(18)的自由端上设有安装架(19)，第一摄像头(16)安装在安装架(19)上。
5.根据权利要求4所述的单面自动光刻机，其特征在于：所述机架(1)上还安装有第二摄像头，第二摄像头位于承片台(5)的一侧。
6.根据权利要求1所述的单面自动光刻机，其特征在于：所述机架(1)的外围设有保护罩(9)，保护罩(9)上设有检修门(10)。
7.根据权利要求1所述的单面自动光刻机，其特征在于：所述上料工位处设有两个上料盒(3)，下料工位处设有两个下料盒(8)。
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