[实用新型]一种基于DUV高精度激光器脉冲电源保护装置有效

专利信息
申请号: 202122599218.1 申请日: 2021-10-27
公开(公告)号: CN216599454U 公开(公告)日: 2022-05-24
发明(设计)人: 蒋芳芳;蒋晖晖 申请(专利权)人: 南京尹特利微电子科技有限公司
主分类号: H02M9/02 分类号: H02M9/02;H05K7/20;H05K5/02;H05K5/06
代理公司: 广东奥益专利代理事务所(普通合伙) 44842 代理人: 何国涛
地址: 210000 江苏省南京市江宁空港经济*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种基于DUV高精度激光器脉冲电源保护装置,包括第一箱体,第一箱体内腔底部的两端均开设有第一滑槽,所述第一滑槽的内腔活动连接有第一夹持块,所述第一夹持块的右侧开设有第二滑槽,所述第二滑槽的内腔活动连接有第二夹持块,所述第一箱体的左侧通过螺栓螺孔活动连接有左侧板。本实用新型通过设置第一箱体,起到了对电源表面进行保护的效果,通过第一滑槽和第一夹持块配合,起到了对电源进行横向夹持的效果,避免电源随第一箱体的移动而产生横向位移的情况,通过第二滑槽和第二夹持块配合,起到了对电源进行纵向夹持的效果,避免了移动第一箱体时电源产生纵向位移而造成对电源进行损坏的情况。
搜索关键词: 一种 基于 duv 高精度 激光器 脉冲 电源 保护装置
【主权项】:
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