[实用新型]一种基于DUV高精度激光器脉冲电源保护装置有效

专利信息
申请号: 202122599218.1 申请日: 2021-10-27
公开(公告)号: CN216599454U 公开(公告)日: 2022-05-24
发明(设计)人: 蒋芳芳;蒋晖晖 申请(专利权)人: 南京尹特利微电子科技有限公司
主分类号: H02M9/02 分类号: H02M9/02;H05K7/20;H05K5/02;H05K5/06
代理公司: 广东奥益专利代理事务所(普通合伙) 44842 代理人: 何国涛
地址: 210000 江苏省南京市江宁空港经济*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 基于 duv 高精度 激光器 脉冲 电源 保护装置
【说明书】:

实用新型公开了一种基于DUV高精度激光器脉冲电源保护装置,包括第一箱体,第一箱体内腔底部的两端均开设有第一滑槽,所述第一滑槽的内腔活动连接有第一夹持块,所述第一夹持块的右侧开设有第二滑槽,所述第二滑槽的内腔活动连接有第二夹持块,所述第一箱体的左侧通过螺栓螺孔活动连接有左侧板。本实用新型通过设置第一箱体,起到了对电源表面进行保护的效果,通过第一滑槽和第一夹持块配合,起到了对电源进行横向夹持的效果,避免电源随第一箱体的移动而产生横向位移的情况,通过第二滑槽和第二夹持块配合,起到了对电源进行纵向夹持的效果,避免了移动第一箱体时电源产生纵向位移而造成对电源进行损坏的情况。

技术领域

本实用新型涉及脉冲电源技术领域,具体为一种基于DUV高精度激光器脉冲电源保护装置。

背景技术

脉冲电源有单正脉冲和双正、负脉冲电源,采用独特的调制技术,数字化控制,正向脉冲开启宽度和负向脉冲开启时间宽度可分别在全周期内调节,正向电流、电压调节、负向电流、电压均可独立调节,可满足客户的不同的需求,由于DUV高精度激光器脉冲电源在使用的过程中,由于缺乏保护措施,会受到不同程度的损害,因此我们提出一种基于DUV高精度激光器脉冲电源保护装置,来解决此类问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种基于DUV高精度激光器脉冲电源保护装置,具备稳固夹持和散热的优点,解决了由于DUV高精度激光器脉冲电源在使用的过程中,由于缺乏保护措施,会受到不同程度的损害的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种基于DUV高精度激光器脉冲电源保护装置,包括第一箱体,所述第一箱体内腔底部的两端均开设有第一滑槽,所述第一滑槽的内腔活动连接有第一夹持块,所述第一夹持块的右侧开设有第二滑槽,所述第二滑槽的内腔活动连接有第二夹持块,所述第一箱体的左侧通过螺栓螺孔活动连接有左侧板,所述左侧板左侧的上端设置有第一风扇,所述左侧板右侧的下端固定连接有限位块,所述限位块延伸至第一滑槽的内腔,并与第一滑槽的内腔活动连接,所述第一箱体的正面通过螺栓螺孔活动连接有通风板,所述通风板的正面开设有气流槽,所述气流槽的正面固定连接有防尘网。

优选的,所述第一箱体内腔两侧的上端均开设有第三滑槽,且第三滑槽的内腔活动连接有支撑板。

优选的,所述支撑板顶部的右侧开设有限位槽,且限位槽的内腔活动连接有干燥箱。

优选的,所述第一箱体的顶部固定连接有警报器,且第一箱体的底部固定连接有吸盘。

优选的,所述第一箱体内腔的背面固定连接有复合传感器,且复合传感器的输出端与第一风扇的输入端电性连接。

优选的,所述支撑板顶部的左侧固定连接有第二风扇,且第二风扇的输入端与复合传感器的输出端电性连接。

优选的,所述干燥箱内腔的背面固定连接有湿度传感器,且湿度传感器的输出端与警报器的输入端电性连接。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果如下:

1、本实用新型通过设置第一箱体,起到了对电源表面进行保护的效果,通过第一滑槽和第一夹持块配合,起到了对电源进行横向夹持的效果,避免电源随第一箱体的移动而产生横向位移的情况,通过第二滑槽和第二夹持块配合,起到了对电源进行纵向夹持的效果,避免了移动第一箱体时电源产生纵向位移而造成对电源进行损坏的情况,通过设置左侧板,起到了稳定支撑第一风扇,使第一风扇抽出第一箱体内腔部分湿气和热气的效果,通过设置限位块,起到了在安装左侧板时,对左侧板进行固定的效果,避免在安装时左侧板产生位移的情况,通过设置通风板,起到了引入外部新鲜冷空气的效果,通过设置气流槽,起到了对电源进行防尘的效果。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图;

图2为本实用新型第一滑槽、第一夹持块和第二夹持块连接结构示意图;

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