[实用新型]一种基于DUV高精度激光器脉冲电源保护装置有效
| 申请号： | 202122599218.1 | 申请日： | 2021-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN216599454U | 公开（公告）日： | 2022-05-24 |
| 发明（设计）人： | 蒋芳芳;蒋晖晖 | 申请（专利权）人： | 南京尹特利微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H02M9/02 | 分类号： | H02M9/02;H05K7/20;H05K5/02;H05K5/06 |
| 代理公司： | 广东奥益专利代理事务所(普通合伙) 44842 | 代理人： | 何国涛 |
| 地址： | 210000 江苏省南京市江宁空港经济*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 duv 高精度 激光器 脉冲 电源 保护装置 | ||
1.一种基于DUV高精度激光器脉冲电源保护装置，包括第一箱体(1)，其特征在于：所述第一箱体(1)内腔底部的两端均开设有第一滑槽(2)，所述第一滑槽(2)的内腔活动连接有第一夹持块(3)，所述第一夹持块(3)的右侧开设有第二滑槽(4)，所述第二滑槽(4)的内腔活动连接有第二夹持块(5)，所述第一箱体(1)的左侧通过螺栓螺孔活动连接有左侧板(6)，所述左侧板(6)左侧的上端设置有第一风扇(7)，所述左侧板(6)右侧的下端固定连接有限位块(8)，所述限位块(8)延伸至第一滑槽(2)的内腔，并与第一滑槽(2)的内腔活动连接，所述第一箱体(1)的正面通过螺栓螺孔活动连接有通风板(9)，所述通风板(9)的正面开设有气流槽(10)，所述气流槽(10)的正面固定连接有防尘网(11)。
2.根据权利要求1所述的一种基于DUV高精度激光器脉冲电源保护装置，其特征在于：所述第一箱体(1)内腔两侧的上端均开设有第三滑槽(12)，且第三滑槽(12)的内腔活动连接有支撑板(13)。
3.根据权利要求2所述的一种基于DUV高精度激光器脉冲电源保护装置，其特征在于：所述支撑板(13)顶部的右侧开设有限位槽(15)，且限位槽(15)的内腔活动连接有干燥箱(16)。
4.根据权利要求1所述的一种基于DUV高精度激光器脉冲电源保护装置，其特征在于：所述第一箱体(1)的顶部固定连接有警报器(19)，且第一箱体(1)的底部固定连接有吸盘。
5.根据权利要求1所述的一种基于DUV高精度激光器脉冲电源保护装置，其特征在于：所述第一箱体(1)内腔的背面固定连接有复合传感器(18)，且复合传感器(18)的输出端与第一风扇(7)的输入端电性连接。
6.根据权利要求2所述的一种基于DUV高精度激光器脉冲电源保护装置，其特征在于：所述支撑板(13)顶部的左侧固定连接有第二风扇(14)，且第二风扇(14)的输入端与复合传感器(18)的输出端电性连接。
7.根据权利要求3所述的一种基于DUV高精度激光器脉冲电源保护装置，其特征在于：所述干燥箱(16)内腔的背面固定连接有湿度传感器(17)，且湿度传感器(17)的输出端与警报器(19)的输入端电性连接。
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