[实用新型]一种二氧化碳激光器的充气功率恢复装置有效
| 申请号： | 202122582597.3 | 申请日： | 2021-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN216355276U | 公开（公告）日： | 2022-04-19 |
| 发明（设计）人： | 朱亮国 | 申请（专利权）人： | 东莞市佩罗激光科技有限公司 |
| 主分类号： | H01S3/036 | 分类号： | H01S3/036;G01J1/00 |
| 代理公司： | 东莞市尚标联合知识产权代理事务所(普通合伙) 44822 | 代理人： | 钟建星 |
| 地址： | 523000 广东省东莞*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种二氧化碳激光器的充气功率恢复装置，包括开关阀门V1、开关阀门V2、开关阀门V3、开关阀门V4、前级真空泵DN、分子泵DM、气源和激光器连接管，开关阀门V5和气源能够组成充气支路，开关阀门V4、前级真空泵DN和开关阀门V1能够组成第一抽气支路，开关阀门V3、分子泵DM、开关阀门V2、前级真空泵DN和开关阀门V1能够组成第二抽气支路。该装置能够为激光器实现方便快捷的充气操作，并且采用前级真空泵和分子泵相组合的高真空机组，抽真空效果好，能够达到极限真空，提高了重新充气的精度和效果，进而提高了激光器的质量。此外，该装置可通过控制器实现自动化控制，并且具有功率检测功能，操作更加方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 二氧化碳 激光器 充气 功率 恢复 装置 | ||
【主权项】：
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