[实用新型]一种二氧化碳激光器的充气功率恢复装置

说明书

本实用新型公开了一种二氧化碳激光器的充气功率恢复装置，包括开关阀门V1、开关阀门V2、开关阀门V3、开关阀门V4、前级真空泵DN、分子泵DM、气源和激光器连接管，开关阀门V5和气源能够组成充气支路，开关阀门V4、前级真空泵DN和开关阀门V1能够组成第一抽气支路，开关阀门V3、分子泵DM、开关阀门V2、前级真空泵DN和开关阀门V1能够组成第二抽气支路。该装置能够为激光器实现方便快捷的充气操作，并且采用前级真空泵和分子泵相组合的高真空机组，抽真空效果好，能够达到极限真空，提高了重新充气的精度和效果，进而提高了激光器的质量。此外，该装置可通过控制器实现自动化控制，并且具有功率检测功能，操作更加方便。

技术领域

本实用新型涉及二氧化碳激光器技术领域，更具体地说，是涉及一种二氧化碳激光器的充气功率恢复装置。

背景技术

二氧化碳激光器一般是以二氧化碳气体作为工作介质的气体激光器，具有高功率、高效率、高光束质量、相干性好和模式稳定等重要特性，这些特性使二氧化碳激光器在众多领域得到广泛应用。然而，在激光器的实际应用中，不可避免地会有气体损耗，在气体损耗达到一定程度时，会导致激光器的输出功率下降，要保证激光器输出功率，就需要对激光器进行重新充气，即换气。

在传统的重新充气操作中，一般是采取人工操作，真空度和充气量的控制都是靠操作人员完成，精确性和准确度往往难以把握，而且工作效率低。为解决此问题，目前市面上也出现了一些能够自动为二氧化碳激光器充气的充气设备，但是现有的二氧化碳激光器充气设备通常采用单级真空泵进行抽气，抽真空效果差，难以实现极限真空，影响重新充气的精度和效果。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术中的上述缺陷，提供一种二氧化碳激光器的充气功率恢复装置。

为实现上述目的，本实用新型提供了一种二氧化碳激光器的充气功率恢复装置，包括开关阀门V1、开关阀门V2、开关阀门V3、开关阀门V4、前级真空泵DN、分子泵DM、气源和用于与二氧化碳激光器的谐振腔相连接的激光器连接管，所述开关阀门V1连接在前级真空泵DN的出气口处的管道上，所述开关阀门V4连接在激光器连接管与前级真空泵DN的入气口之间的管道上，所述开关阀门V2连接在前级真空泵DN的入气口与分子泵DM的出气口之间的管道上，所述开关阀门V3连接在激光器连接管与分子泵DM的入气口之间的管道上，所述开关阀门V5和气源能够组成充气支路，所述开关阀门V4、前级真空泵DN和开关阀门V1能够组成第一抽气支路，所述开关阀门V3、分子泵DM、开关阀门V2、前级真空泵DN和开关阀门V1能够组成第二抽气支路。

作为优选的，所述开关阀门V1、开关阀门V2、开关阀门V3和开关阀门V4分别设置为电磁阀。

作为优选的，所述分子泵DM的最高转速为80000转/min。

作为优选的，该装置还包括控制器，所述控制器分别与开关阀门V1、开关阀门V2、开关阀门V3、开关阀门V4、前级真空泵DN和分子泵DM电连接。

作为优选的，该装置还包括与控制器电连接的真空计P1，所述真空计P1连接在激光器连接管与开关阀门V3之间的管道上。

作为优选的，该装置还包括与控制器电连接的真空计P2，所述真空计P2连接在开关阀门V3与分子泵DM的入气口之间的管道上。

作为优选的，该装置还包括与控制器电连接的真空计P3，所述真空计P3连接在分子泵DM的出气口与开关阀门V2之间的管道上。

作为优选的，该装置还包括激光功率计和用于为二氧化碳激光器在测试时供电的电源，所述激光功率计位于二氧化碳激光器的激光射出路径上，所述电源与二氧化碳激光器电连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：