[实用新型]一种二氧化碳激光器的充气功率恢复装置有效
| 申请号： | 202122582597.3 | 申请日： | 2021-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN216355276U | 公开（公告）日： | 2022-04-19 |
| 发明（设计）人： | 朱亮国 | 申请（专利权）人： | 东莞市佩罗激光科技有限公司 |
| 主分类号： | H01S3/036 | 分类号： | H01S3/036;G01J1/00 |
| 代理公司： | 东莞市尚标联合知识产权代理事务所(普通合伙) 44822 | 代理人： | 钟建星 |
| 地址： | 523000 广东省东莞*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 二氧化碳 激光器 充气 功率 恢复 装置 | ||
1.一种二氧化碳激光器的充气功率恢复装置，其特征在于：包括开关阀门V1、开关阀门V2、开关阀门V3、开关阀门V4、前级真空泵DN、分子泵DM、气源和用于与二氧化碳激光器的谐振腔相连接的激光器连接管，所述开关阀门V1连接在前级真空泵DN的出气口处的管道上，所述开关阀门V4连接在激光器连接管与前级真空泵DN的入气口之间的管道上，所述开关阀门V2连接在前级真空泵DN的入气口与分子泵DM的出气口之间的管道上，所述开关阀门V3连接在激光器连接管与分子泵DM的入气口之间的管道上，开关阀门V5和气源能够组成充气支路，所述开关阀门V4、前级真空泵DN和开关阀门V1能够组成第一抽气支路，所述开关阀门V3、分子泵DM、开关阀门V2、前级真空泵DN和开关阀门V1能够组成第二抽气支路。
2.根据权利要求1所述的一种二氧化碳激光器的充气功率恢复装置，其特征在于：所述开关阀门V1、开关阀门V2、开关阀门V3和开关阀门V4分别设置为电磁阀。
3.根据权利要求1所述的一种二氧化碳激光器的充气功率恢复装置，其特征在于：所述分子泵DM的最高转速为80000转/min。
4.根据权利要求1～3中任意一项所述的一种二氧化碳激光器的充气功率恢复装置，其特征在于：还包括控制器，所述控制器分别与开关阀门V1、开关阀门V2、开关阀门V3、开关阀门V4、前级真空泵DN和分子泵DM电连接。
5.根据权利要求4所述的一种二氧化碳激光器的充气功率恢复装置，其特征在于：还包括与控制器电连接的真空计P1，所述真空计P1连接在激光器连接管与开关阀门V3之间的管道上。
6.根据权利要求4所述的一种二氧化碳激光器的充气功率恢复装置，其特征在于：还包括与控制器电连接的真空计P2，所述真空计P2连接在开关阀门V3与分子泵DM的入气口之间的管道上。
7.根据权利要求4所述的一种二氧化碳激光器的充气功率恢复装置，其特征在于：还包括与控制器电连接的真空计P3，所述真空计P3连接在分子泵DM的出气口与开关阀门V2之间的管道上。
8.根据权利要求1所述的一种二氧化碳激光器的充气功率恢复装置，其特征在于：还包括激光功率计和用于为二氧化碳激光器在测试时供电的电源，所述激光功率计位于二氧化碳激光器的激光射出路径上，所述电源与二氧化碳激光器电连接。
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