[实用新型]磁传感器有效
| 申请号： | 202122383424.9 | 申请日： | 2021-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN216351171U | 公开（公告）日： | 2022-04-19 |
| 发明（设计）人： | 金文超;闻永祥;孙福河 | 申请（专利权）人： | 杭州士兰集昕微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01R33/09 | 分类号： | G01R33/09 |
| 代理公司： | 北京成创同维知识产权代理有限公司 11449 | 代理人： | 蔡纯;张靖琳 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请公开了一种磁传感器，包括：衬底，具有相对的第一表面与第二表面；凹槽，自第一表面向第二表面的方向延伸，凹槽的底面位于衬底中；第一伸缩部，位于凹槽的侧壁上；第一压电部，位于第一伸缩部上；第二伸缩部，位于第一表面上沿第一方向延伸；第二压电部，位于第二伸缩部上；第三伸缩部，位于第一表面上沿第二方向延伸；以及第三压电部，位于第三伸缩部上，其中，第一方向垂直于第一表面向第二表面的方向，第二方向垂直于第一表面向第二表面的方向，并且垂直于第一方向。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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