[实用新型]磁传感器

权利要求书

1.一种磁传感器，其特征在于，包括：

衬底，具有相对的第一表面与第二表面；

凹槽，自所述第一表面向所述第二表面的方向延伸，所述凹槽的底面位于所述衬底中；

第一伸缩部，位于所述凹槽的侧壁上；

第一压电部，位于所述第一伸缩部上；

第二伸缩部，位于所述第一表面上沿第一方向延伸；

第二压电部，位于所述第二伸缩部上；

第三伸缩部，位于所述第一表面上沿第二方向延伸；以及

第三压电部，位于所述第三伸缩部上，

其中，所述第一方向垂直于所述第一表面向所述第二表面的方向，所述第二方向垂直于所述第一表面向所述第二表面的方向，并且垂直于所述第一方向。

2.根据权利要求1所述的磁传感器，其特征在于，所述第一伸缩部、所述第二伸缩部以及所述第三伸缩部为将磁能转换为机械能的磁致伸缩材料层，

所述第一压电部、所述第二压电部以及所述第三压电部为将所述机械能转换为电能的压电材料层。

3.根据权利要求1所述的磁传感器，其特征在于，所述第一压电部呈长条状，沿该长条的长度方向具有相对的第一端与第二端，所述第一压电部的第一端靠近所述凹槽的开口，所述第一压电部的第二端靠近所述凹槽的底面；

所述第二压电部呈长条状且沿所述第一方向具有相对的第一端与第二端，所述第二压电部的第一端靠近所述凹槽，所述第二压电部的第二端远离所述凹槽；

所述第三压电部呈长条状且沿所述第二方向具有相对的第一端与第二端，所述第三压电部的第一端靠近所述第二压电部，所述第三压电部的第二端远离所述第二压电部。

4.根据权利要求1所述的磁传感器，其特征在于，所述第一伸缩部的外周边缘包围所述第一压电部的外周边缘；

所述第二伸缩部的外周边缘包围所述第二压电部的外周边缘；

所述第三伸缩部的外周边缘包围所述第三压电部的外周边缘。

5.根据权利要求1所述的磁传感器，其特征在于，所述第一压电部的数量为多个，且相邻的所述第一压电部彼此分隔；

所述第二压电部的数量为多个，且相邻的所述第二压电部彼此分隔；

所述第三压电部的数量为多个，且相邻的所述第三压电部彼此分隔。

6.根据权利要求1所述的磁传感器，其特征在于，所述第一伸缩部与所述第一压电部的数量、位置一一对应，且相邻的所述第一伸缩部之间彼此分隔；

所述第二伸缩部与所述第二压电部的数量、位置一一对应，且相邻的所述第二伸缩部之间彼此分隔；

所述第三伸缩部与所述第三压电部的数量、位置一一对应，且相邻的所述第三伸缩部之间彼此分隔。

7.根据权利要求1所述的磁传感器，其特征在于，每个所述第一伸缩部呈长条状，沿该长条的长度方向，所述第一伸缩部具有相对的第一端与第二端，每个所述第一伸缩部的第一端靠近所述凹槽的开口，每个所述第一伸缩部的第二端靠近所述凹槽的底面；

每个所述第二伸缩部呈长条状且沿所述第一方向延伸并具有相对的第一端与第二端，沿所述第一方向，所述第二伸缩部的第一端靠近所述凹槽，所述第二伸缩部的第二端远离所述凹槽；

每个所述第三伸缩部呈长条状且沿所述第二方向延伸并具有相对的第一端与第二端，所述第三伸缩部的第一端靠近所述第二压电部，所述第三伸缩部的第二端远离所述第二压电部。

8.根据权利要求1所述的磁传感器，其特征在于，所述凹槽为多边形槽，所述凹槽的至少一个侧壁设置至少一个所述第一伸缩部及其对应的所述第一压电部。

9.根据权利要求1所述的磁传感器，其特征在于，所述凹槽的每个侧壁与所述凹槽的底面的夹角均大于90°。