[实用新型]一种电阻蒸发装置有效
| 申请号： | 202122292053.3 | 申请日： | 2021-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN215976012U | 公开（公告）日： | 2022-03-08 |
| 发明（设计）人： | 何清;郭琪;曹作川 | 申请（专利权）人： | 成都金典真空设备有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 成都信捷同创知识产权代理事务所(普通合伙) 51323 | 代理人： | 左正超 |
| 地址： | 610100 四川省成都市龙泉*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种电阻蒸发装置，涉及电阻蒸发技术领域，解决了电阻蒸发扩散范围有限的问题。一种电阻蒸发装置，包括一种主框体；主框体，所述主框体的整体为圆盘状结构；电阻蒸发件，所述主框体顶部滑动安装有电阻蒸发件；盖板，所述电阻蒸发件顶部盖装有盖板；上支撑管，所述主框体上部固定设置有上支撑管；电阻蒸发件，所述电阻蒸发件为扇形状结构，电阻蒸发件共同组成一处圆盘结构，电阻蒸发件包括有蒸发坩埚，电阻蒸发件顶部卡合固定有蒸发坩埚，蒸发坩埚顶部覆盖连接盖板。通过固定柱调节和固定电阻蒸发件位置，使电阻蒸发件能够向外延伸展开，扩大蒸发扩散的面积和范围。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电阻 蒸发 装置 | ||
【主权项】：
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