[实用新型]一种电阻蒸发装置有效

专利信息
申请号: 202122292053.3 申请日: 2021-09-22
公开(公告)号: CN215976012U 公开(公告)日: 2022-03-08
发明(设计)人: 何清;郭琪;曹作川 申请(专利权)人: 成都金典真空设备有限责任公司
主分类号: C23C14/26 分类号: C23C14/26
代理公司: 成都信捷同创知识产权代理事务所(普通合伙) 51323 代理人: 左正超
地址: 610100 四川省成都市龙泉*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 一种 电阻 蒸发 装置
【权利要求书】:

1.一种电阻蒸发装置,其特征在于:包括主框体;

所述主框体的整体为圆盘状结构;电阻蒸发件,所述主框体顶部滑动安装有电阻蒸发件;盖板,所述电阻蒸发件顶部盖装有盖板;上支撑管,所述主框体上部固定设置有上支撑管;

电阻蒸发件,所述电阻蒸发件为扇形状结构,电阻蒸发件共同组成一处圆盘结构,电阻蒸发件包括有蒸发坩埚,电阻蒸发件顶部卡合固定有蒸发坩埚,蒸发坩埚顶部覆盖连接盖板。

2.如权利要求1所述一种电阻蒸发装置,其特征在于,所述主框体包括:

下连接柱、第一电机、固定柱、第一支撑弹簧和内连接柱,主框体底部固定连接有下连接柱,下连接柱与第一电机主轴啮合连接,主框体滑动贯穿连接有固定柱,固定柱中部固定设置有第一支撑弹簧,主框体中部固定设置有内连接柱。

3.如权利要求2所述一种电阻蒸发装置,其特征在于,所述第一支撑弹簧底端与主框体固定连接,固定柱顶部与电阻蒸发件底部凹槽滑动卡合,第一支撑弹簧支撑固定柱垂直移动。

4.如权利要求1所述一种电阻蒸发装置,其特征在于,所述盖板包括有上连接滑块、第二支撑弹簧、第一连接条和第二连接条,盖板顶部固定设置有上连接滑块,上连接滑块固定设置有第二支撑弹簧,上连接滑块滑动连接有第一连接条,第一连接条与第二连接条滑动连接。

5.如权利要求4所述一种电阻蒸发装置,其特征在于,所述第二连接条为一处L形的矩形条,第二连接条尾端圆轴与内连接柱转动连接,盖板尾端滑动设置有第三连接条。

6.如权利要求4所述一种电阻蒸发装置,其特征在于,所述盖板包括有第二蜗杆和驱动机构,第二连接条尾端连接圆轴与第二蜗杆啮合连接,第二蜗杆与驱动机构啮合连接。

7.如权利要求4所述一种电阻蒸发装置,其特征在于,所述第二支撑弹簧顶端与第一连接条固定连接,驱动机构与内连接柱固定连接。

8.如权利要求1所述一种电阻蒸发装置,其特征在于,所述上支撑管顶部滑动嵌套连接有上连接管,上支撑管与上连接管通过固定螺丝贯穿固定,上连接管通过下固定管嵌套连接有一处主框体。

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