[实用新型]一种电阻蒸发装置有效

专利信息
申请号: 202122292053.3 申请日: 2021-09-22
公开(公告)号: CN215976012U 公开(公告)日: 2022-03-08
发明(设计)人: 何清;郭琪;曹作川 申请(专利权)人: 成都金典真空设备有限责任公司
主分类号: C23C14/26 分类号: C23C14/26
代理公司: 成都信捷同创知识产权代理事务所(普通合伙) 51323 代理人: 左正超
地址: 610100 四川省成都市龙泉*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 一种 电阻 蒸发 装置
【说明书】:

本实用新型公开了一种电阻蒸发装置,涉及电阻蒸发技术领域,解决了电阻蒸发扩散范围有限的问题。一种电阻蒸发装置,包括一种主框体;主框体,所述主框体的整体为圆盘状结构;电阻蒸发件,所述主框体顶部滑动安装有电阻蒸发件;盖板,所述电阻蒸发件顶部盖装有盖板;上支撑管,所述主框体上部固定设置有上支撑管;电阻蒸发件,所述电阻蒸发件为扇形状结构,电阻蒸发件共同组成一处圆盘结构,电阻蒸发件包括有蒸发坩埚,电阻蒸发件顶部卡合固定有蒸发坩埚,蒸发坩埚顶部覆盖连接盖板。通过固定柱调节和固定电阻蒸发件位置,使电阻蒸发件能够向外延伸展开,扩大蒸发扩散的面积和范围。

技术领域

本实用新型属于电阻蒸发技术领域,更具体地说,特别涉及一种电阻蒸发装置。

背景技术

电阻蒸发镀膜是通过电阻加热紧贴在电阻丝上的金属丝,汽化后的金属分子沉积于基片上,获得高反射率的膜层,达到装饰美化物品表面的目的。

如申请号为:CN201720285585.5的专利中,公开了一种多位电阻蒸发装置,包括坩埚、电极和传动系统,传动系统包括步进电机、传动齿轮组和传动轴,坩埚安装在真空镀膜机内,且坩埚设有多个蒸发舟,电极安装在真空镀膜机的底部,传动系统位于真空镀膜机的底部,步进电机和传动轴通过传动齿轮组连接,传动轴穿过真空镀膜机的底部与坩埚连接。本实用新型通过若干个蒸发舟控制需要镀膜的厚度,当一个蒸发舟内的物料用完后,步进电机转动,控制坩埚旋转一定角度,转到下一个蒸发舟继续镀膜,对于需要多种物料镀膜的产品也相当适用,本实用新型的结构简单、工作稳定、适用范围广。

基于上述,电阻蒸发装置工作时,蒸发坩埚会加热过程中会现有一部分金属分子扩散溢出,影响后续大量金属分子的均匀性,且电阻蒸发扩散范围有限。

实用新型内容

为了解决上述技术问题,本实用新型提供一种电阻蒸发装置,以解决电阻蒸发装置工作时,蒸发坩埚会加热过程中会现有一部分金属分子扩散溢出,影响后续大量金属分子的均匀性,且电阻蒸发扩散范围有限的问题。

本实用新型一种电阻蒸发装置的目的与功效,由以下具体技术手段所达成:

一种电阻蒸发装置,包括主框体;所述主框体的整体为圆盘状结构;电阻蒸发件,所述主框体顶部滑动安装有电阻蒸发件;盖板,所述电阻蒸发件顶部盖装有盖板;上支撑管,所述主框体上部固定设置有上支撑管;电阻蒸发件,所述电阻蒸发件为扇形状结构,电阻蒸发件共同组成一处圆盘结构,电阻蒸发件包括有蒸发坩埚,电阻蒸发件顶部卡合固定有蒸发坩埚,蒸发坩埚顶部覆盖连接盖板,盖板包括有上连接滑块、第二支撑弹簧、第一连接条和第二连接条,盖板顶部固定设置有上连接滑块,上连接滑块固定设置有第二支撑弹簧,上连接滑块滑动连接有第一连接条,第一连接条与第二连接条水平滑动连接,第二连接条为一处L形的矩形条,第二连接条尾端圆轴与内连接柱转动连接,盖板尾端滑动设置有第三连接条,第三连接条首端与第二连接条尾端圆轴固定连接,第二连接条和盖板围绕同一中心转动。

优选的,所述上支撑管顶部滑动嵌套连接有上连接管,上支撑管与上连接管通过固定螺丝贯穿固定,上连接管通过下固定管嵌套连接有一处主框体,上连接管与下固定管螺栓固定连接。

优选的,所述主框体包括下连接柱、第一电机、固定柱、第一支撑弹簧和内连接柱,主框体底部固定连接有下连接柱,下连接柱下端的齿轮与第一电机主轴啮合连接,第一电机固定安装在设备内部,主框体滑动贯穿连接有固定柱,固定柱中部固定设置有第一支撑弹簧,主框体中部固定设置有内连接柱,第一支撑弹簧底端与主框体固定连接,固定柱顶部与电阻蒸发件底部凹槽滑动卡合,第一支撑弹簧支撑固定柱垂直移动。

优选的,所述盖板还包括有第二蜗杆和驱动机构,第二连接条尾端连接圆轴与第二蜗杆啮合连接,第二蜗杆与驱动机构齿轮啮合连接,驱动机构由电机主轴嵌套齿轮盘组成,第二支撑弹簧顶端与第一连接条固定连接,驱动机构与内连接柱固定连接。

本实用新型至少包括以下有益效果:

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