[实用新型]一种基片清洗夹具和基片清洗系统有效
| 申请号： | 202122264031.6 | 申请日： | 2021-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN216064758U | 公开（公告）日： | 2022-03-18 |
| 发明（设计）人： | 王兴梅;霍连发;高晓翠;杨瑞瑞 | 申请（专利权）人： | 北京飞宇微电子电路有限责任公司 |
| 主分类号： | B08B13/00 | 分类号： | B08B13/00;B08B3/04 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李海建 |
| 地址： | 100176 北京市北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基片清洗夹具和基片清洗系统。该基片清洗夹具包括基片承载架和安装架，其中基片承载架包括第一支撑件、第二支撑件和第一连接组件，第一支撑件设置有多个第一凸起部，第一支撑件还设有第一折弯部，第二支撑件设置有多个均匀分布的第二凸起部，第二支撑件还设有自其底部向靠近第一支撑件一侧弯曲的第二折弯部；安装架，安装架包括第一固定件、第二固定件、至少一个隔板和第二连接组件。使用时，通过相邻的第一凸起部形成的第一凹陷部和相邻的第二凸起部形成的第二凹陷部对基片进行限位，通过第一折弯部和第二折弯部支撑基片；增加了基片边缘的暴露面积，使基片边缘与清洗液充分接触，提高基片的清洗效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 清洗 夹具 系统 | ||
【主权项】：
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