[实用新型]一种基片清洗夹具和基片清洗系统

权利要求书

1.一种基片清洗夹具，其特征在于，包括基片承载架以及用于安装所述基片承载架的安装架，其中：

所述基片承载架包括相对设置的第一支撑件和第二支撑件，以及连接所述第一支撑件与所述第二支撑件的第一连接组件；所述第一支撑件沿其长度方向上设置有多个第一凸起部，相邻的所述第一凸起部之间形成第一凹陷部；所述第一支撑件还设有自其底部向靠近所述第二支撑件一侧弯曲的第一折弯部；所述第二支撑件沿其长度方向上设置有多个第二凸起部，相邻的所述第二凸起部之间形成第二凹陷部，每个所述第二凹陷部均对应一个所述第一凹陷部，并且所述第一凹陷部和所述第二凹陷部均能够与基片的边缘匹配，所述第二支撑件还设有自其底部向靠近所述第一支撑件一侧弯曲的第二折弯部；

所述安装架包括相对设置的第一固定件和第二固定件，以及连接所述第一固定件与所述第二固定件的第二连接组件；所述第一固定件与第二固定件之间设置有至少一个隔板，以将所述第一固定件与所述第二固定件之间的区域分隔成多个安装区，所述基片承载架能够安装于所述安装区内。

2.根据权利要求1所述的基片清洗夹具，其特征在于，所述第一连接组件包括第一连接杆、第二连接杆、第三连接杆和第四连接杆，所述第一连接杆和所述第二连接杆均设置于所述第一支撑件的第一侧且沿所述基片承载架的高度方向依次设置，所述第三连接杆和所述第四连接杆均设置于所述第一支撑件的第二侧且沿所述基片承载架的高度方向依次设置。

3.根据权利要求1所述的基片清洗夹具，其特征在于，所述第一凸起部和所述第二凸起部在垂直于其自身延伸方向上的平面上的截面形状均为弓形，并且所述第一凸起部和所述第二凸起部的延伸方向均倾斜设置。

4.根据权利要求3所述的基片清洗夹具，其特征在于，所述第一支撑件和所述第二支撑件分别为第一支撑板和第二支撑板，所述第一支撑板和所述第二支撑板上均设有能够使清洗液通过的过液孔。

5.根据权利要求1-4任一项所述的基片清洗夹具，其特征在于，所述第二连接组件包括第一侧杆、第二侧杆、第三侧杆和第四侧杆，所述第一侧杆和所述第二侧杆均设置于所述第一固定板的第一侧且沿所述安装架的高度方向依次设置，所述第三侧杆和所述第四侧杆均设置于所述第一固定板的第二侧且沿所述安装架的高度方向依次设置。

6.根据权利要求5所述的基片清洗夹具，其特征在于，所述第一侧杆与所述第三侧杆相对设置，所述第二侧杆与所述第四侧杆相对设置，所述第一侧杆和所述第三侧杆之间的距离大于所述第二侧杆和所述第四侧杆之间的距离。

7.根据权利要求1-4任一项所述的基片清洗夹具，其特征在于，所述安装架还包括用于限制所述基片沿所安装架的高度方向晃动的限位件。

8.根据权利要求7所述的基片清洗夹具，其特征在于，所述限位件为限位杆，所述第一固定件的顶部设有能够与所述限位杆的外圆周配合的第一安装部，所述第二固定件的顶部设有能够与所述限位杆的外圆周配合的第二安装部。

9.根据权利要求1-4任一项所述的基片清洗夹具，其特征在于，所述第一固定件和所述第二固定件分别为第一固定板和第二固定板；

所述第一固定板和所述第二固定板上均设有能够使清洗液通过的过液孔，所述第一固定板和所述第二固定板的底部向远离彼此的一侧折弯而分别形成第一连接部和第二连接部。

10.一种基片清洗系统，其特征在于，包括清洗槽、设置于所述清洗槽的网格固定架和如权利要求1至9任意一项所述的基片清洗夹具，所述基片清洗夹具安装在所述网格固定架上。