[实用新型]单晶硅棒清洗装置有效
| 申请号: | 202122254721.3 | 申请日: | 2021-09-16 |
| 公开(公告)号: | CN215613635U | 公开(公告)日: | 2022-01-25 |
| 发明(设计)人: | 白林;王新正;陆沁 | 申请(专利权)人: | 江苏宇太光伏科技有限公司 |
| 主分类号: | B08B3/08 | 分类号: | B08B3/08;B08B3/10;B08B13/00 |
| 代理公司: | 常州兴瑞专利代理事务所(普通合伙) 32308 | 代理人: | 张秋月 |
| 地址: | 213000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | 本实用新型公开了一种单晶硅棒清洗装置,它包括适于承载单晶硅棒的放料框、清洗槽组和至少适于将放料框依次转移至清洗槽一、清洗槽二和清洗槽三的转移机构,所述清洗槽组包括从前到后依次设置的清洗槽一、清洗槽二和清洗槽三,清洗槽一、清洗槽二和清洗槽三内分别安装有适于对放料框进行振动的振动装置。本实用新型可以自动对多个单晶硅棒进行多次振动清洗,清洗效果好,效率高。 | ||
| 搜索关键词: | 单晶硅 清洗 装置 | ||
【主权项】:
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