[实用新型]单晶硅棒清洗装置

说明书

本实用新型公开了一种单晶硅棒清洗装置，它包括适于承载单晶硅棒的放料框、清洗槽组和至少适于将放料框依次转移至清洗槽一、清洗槽二和清洗槽三的转移机构，所述清洗槽组包括从前到后依次设置的清洗槽一、清洗槽二和清洗槽三，清洗槽一、清洗槽二和清洗槽三内分别安装有适于对放料框进行振动的振动装置。本实用新型可以自动对多个单晶硅棒进行多次振动清洗，清洗效果好，效率高。

技术领域

本实用新型涉及一种单晶硅棒清洗装置。

背景技术

单晶硅棒在制成成品，即籽晶后，需要经过酸洗，一般是经过三次清洗，第一次，利用清洗剂洗去单晶硅棒表面的碎屑和油污，第二次，利用酸液洗去单晶硅棒表面氧化物，第三次，利用清水洗去单晶硅棒表面残留的酸液，但是，目前主要是在一个清洗槽内进行的，通过更换槽内的液体来实现的，这种清洗方式，在清洗的过程中要经过多次注液、排液，导致清洗过程繁琐，且效率低下。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷，提供一种单晶硅棒清洗装置，它可以自动对多个单晶硅棒进行多次振动清洗，清洗效果好，效率高。

为了解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是：一种单晶硅棒清洗装置，它包括：

适于承载单晶硅棒的放料框；

清洗槽组，所述清洗槽组包括从前到后依次设置的清洗槽一、清洗槽二和清洗槽三，清洗槽一、清洗槽二和清洗槽三内分别安装有适于对放料框进行振动的振动装置；

至少适于将放料框依次转移至清洗槽一、清洗槽二和清洗槽三的转移机构。

进一步提供了一种放料框的具体结构，所述放料框包括：

框架；

安装在框架底端的挡料板，所述挡料板上设有多个通水孔；

至少一层安装在框架内的限位板，所述限位板上设有多个限位孔，所述单晶硅棒插在所述限位孔内。

进一步提供了一种振动装置的具体结构，所述振动装置包括：

适于支撑放料框的网板，所述网板安装在相应清洗槽内，并可上下振动，清洗槽一、清洗槽二和清洗槽三统称为清洗槽；

作用于所述网板下端面的偏心件；

其机体固定在相应清洗槽内，输出轴与所述偏心件相连以驱动所述偏心件偏心转动以使得网板上下振动的防水型电机。

进一步，所述网板通过至少两根弹簧安装在相应清洗槽内，所述弹簧的上端部与所述网板相连，下端部与相应清洗槽的槽底相连，

进一步，所述偏心件为偏心轮。

进一步为了防止放料框在网板所在平面上移动范围过大，并防止放料框撞击清洗槽壁，所述网板上设有适于限制放料框的位置的限位件。

进一步为了加速单晶硅棒干燥，单晶硅棒清洗装置还包括位于所述清洗槽三后侧的吹干槽；其中，

所述吹干槽内安装有适于放置放料框的放置板及适于向放料框吹送氮气以吹干单晶硅棒上的水分的氮气吹送组件，所述放置板上设有多个沥水孔；

所述转移机构还适于将放料框由清洗槽三转移至吹干槽。

进一步提供了一种转移机构的具体结构，所述转移机构包括：

适于抓取放料框上的把手或吊环的抓手；

与所述抓手相连以带动所述抓手移动的机械臂。

进一步提供了一种机械臂的具体结构，所述机械臂包括：

与所述抓手相连并适于驱动所述抓手升降的升降驱动件；