[实用新型]单晶硅棒清洗装置

权利要求书

1.一种单晶硅棒清洗装置，其特征在于，

它包括：

适于承载单晶硅棒的放料框（1）；

清洗槽组，所述清洗槽组包括从前到后依次设置的清洗槽一（2）、清洗槽二（3）和清洗槽三（4），清洗槽一（2）、清洗槽二（3）和清洗槽三（4）内分别安装有适于对放料框（1）进行振动的振动装置；

至少适于将放料框（1）依次转移至清洗槽一（2）、清洗槽二（3）和清洗槽三（4）的转移机构。

2.根据权利要求1所述的单晶硅棒清洗装置，其特征在于，

所述放料框（1）包括：

框架（11）；

安装在框架（11）底端的挡料板（12），所述挡料板（12）上设有多个通水孔（121）；

至少一层安装在框架（11）内的限位板（13），所述限位板（13）上设有多个限位孔（131），所述单晶硅棒插在所述限位孔（131）内。

3.根据权利要求1所述的单晶硅棒清洗装置，其特征在于，

所述振动装置包括：

适于支撑放料框（1）的网板（51），所述网板（51）安装在相应清洗槽内，并可上下振动，清洗槽一（2）、清洗槽二（3）和清洗槽三（4）统称为清洗槽；

作用于所述网板（51）下端面的偏心件（52）；

其机体固定在相应清洗槽内，输出轴与所述偏心件（52）相连以驱动所述偏心件（52）偏心转动以使得网板（51）上下振动的防水型电机（53）。

4.根据权利要求3所述的单晶硅棒清洗装置，其特征在于，

所述网板（51）通过至少两根弹簧（54）安装在相应清洗槽内，所述弹簧（54）的上端部与所述网板（51）相连，下端部与相应清洗槽的槽底相连。

5.根据权利要求3所述的单晶硅棒清洗装置，其特征在于，

所述偏心件（52）为偏心轮。

6.根据权利要求3所述的单晶硅棒清洗装置，其特征在于，

所述网板（51）上设有适于限制放料框（1）的位置的限位件（55）。

7.根据权利要求1所述的单晶硅棒清洗装置，其特征在于，

还包括位于所述清洗槽三（4）后侧的吹干槽（6）；其中，

所述吹干槽（6）内安装有适于放置放料框（1）的放置板（7）及适于向放料框（1）吹送氮气以吹干单晶硅棒上的水分的氮气吹送组件（8），所述放置板（7）上设有多个沥水孔（71）；

所述转移机构还适于将放料框（1）由清洗槽三（4）转移至吹干槽（6）。

8.根据权利要求1所述的单晶硅棒清洗装置，其特征在于，

所述转移机构包括：

适于抓取放料框（1）上的把手或吊环的抓手（91）；

与所述抓手（91）相连以带动所述抓手（91）移动的机械臂。

9.根据权利要求8所述的单晶硅棒清洗装置，其特征在于，

所述机械臂包括：

与所述抓手（91）相连并适于驱动所述抓手（91）升降的升降驱动件（92）；

与所述升降驱动件（92）相连并适于驱动升降驱动件（92）及抓手（91）在前后方向上移动的移动驱动件（93）。