[实用新型]基板承载固定机构及沉积设备有效
| 申请号： | 202122231981.9 | 申请日： | 2021-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN216015289U | 公开（公告）日： | 2022-03-11 |
| 发明（设计）人： | 林俊成 | 申请（专利权）人： | 鑫天虹(厦门)科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;C23C14/50;C23C16/458 |
| 代理公司： | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 | 代理人： | 孙皓晨 |
| 地址： | 361101 福建省厦门市厦门火*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型为一种基板承载固定机构，主要包括一承载盘、一第一盖环及一第二盖环，其中承载盘包括一承载面用以承载一基板，并于承载面的周围环绕设置一第一对位单元。第二盖环连接第一盖环，并包括一第二对位单元。第二盖环放置在第一盖环的内侧，其中第一盖环的周长大于第二盖环，并用以承载第二盖环。当承载盘朝第一盖环及第二盖环位移时，第二盖环的第二对位单元会接触承载盘的第一对位单元，并对位第二盖环及承载盘，使得第二盖环接触承载盘上的基板的固定位置，以将基板固定在承载盘的承载面上，并对基板进行薄膜沉积制程。 | ||
| 搜索关键词： | 承载 固定 机构 沉积 设备 | ||
【主权项】：
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