[实用新型]一种涂胶机运行稳定性检测系统有效
| 申请号： | 202122201065.0 | 申请日： | 2021-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN215865486U | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 李强;徐良;朱伟明;刘建哲;彭艳亮;汪剑;李昌勋;祝小林 | 申请（专利权）人： | 黄山博蓝特半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G01H17/00 | 分类号： | G01H17/00;G05B19/05;B05C11/10 |
| 代理公司： | 杭州凌通知识产权代理有限公司 33316 | 代理人： | 叶绿林 |
| 地址： | 245000 安徽省黄山*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种涂胶机运行稳定性检测系统，包括驱动电机，由驱动电机带动的转动轴，设置在转动轴上的晶圆片放置平台，还设置有用于检测驱动电机振动频率的振动频率测试仪，所述振动频率测试仪连接设置有PLC控制器，PLC控制器通信连接设置有主显示屏及报警装置，PLC控制器接收振动频率测试仪的信号并传输给PLC控制器，同时控制报警装置工作。本实用新型能够准确检测驱动电机是否运行正常和晶圆片位置是否合理，从而保证涂胶的均匀性，可广泛应用于涂胶机领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 涂胶 机运 稳定性 检测 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于黄山博蓝特半导体科技有限公司，未经黄山博蓝特半导体科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202122201065.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种饮水机聪明座成型模具
- 下一篇：一种座兜可旋转的儿童推车
