[实用新型]一种涂胶机运行稳定性检测系统有效
| 申请号： | 202122201065.0 | 申请日： | 2021-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN215865486U | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 李强;徐良;朱伟明;刘建哲;彭艳亮;汪剑;李昌勋;祝小林 | 申请（专利权）人： | 黄山博蓝特半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G01H17/00 | 分类号： | G01H17/00;G05B19/05;B05C11/10 |
| 代理公司： | 杭州凌通知识产权代理有限公司 33316 | 代理人： | 叶绿林 |
| 地址： | 245000 安徽省黄山*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 涂胶 机运 稳定性 检测 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种涂胶机运行稳定性检测系统，包括驱动电机(1)，由驱动电机(1)带动的转动轴(2)，设置在转动轴(2)上的晶圆片放置平台(3)，其特征在于：还设置有用于检测驱动电机振动频率的振动频率测试仪(4)，所述振动频率测试仪(4)连接设置有PLC控制器(6)，PLC控制器(6)通信连接设置有主显示屏(7)及报警装置(8)，PLC控制器(6)接收振动频率测试仪(4)的信号并传输给PLC控制器(6)，同时控制报警装置(8)工作。
2.如权利要求1所述的涂胶机运行稳定性检测系统，其特征在于：所述振动频率测试仪(4)上设置有用于显示振动频率的振动频率显示器(5)，所述振动频率测试仪(4)的探头安装在驱动电机(1)的壳体上且靠近转动轴(2)的位置处。
3.如权利要求1所述的涂胶机运行稳定性检测系统，其特征在于：所述报警装置(8)包括警报灯(81)及蜂鸣器(82)。
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