[实用新型]一种涂胶机运行稳定性检测系统

说明书

本实用新型公开了一种涂胶机运行稳定性检测系统，包括驱动电机，由驱动电机带动的转动轴，设置在转动轴上的晶圆片放置平台，还设置有用于检测驱动电机振动频率的振动频率测试仪，所述振动频率测试仪连接设置有PLC控制器，PLC控制器通信连接设置有主显示屏及报警装置，PLC控制器接收振动频率测试仪的信号并传输给PLC控制器，同时控制报警装置工作。本实用新型能够准确检测驱动电机是否运行正常和晶圆片位置是否合理，从而保证涂胶的均匀性，可广泛应用于涂胶机领域。

技术领域

本实用新型涉及晶片涂胶技术领域，尤其是涉及一种涂胶机运行稳定性检测系统。

背景技术

目前，晶圆片涂胶采用甩胶的方式，即将晶圆片放置在旋转部件上，在旋转部件的上方滴入胶液，胶液滴落到晶圆片上后在高速离心作用下，均匀的向四周扩散开，从而均匀的涂覆在晶圆片的表面。现有转动结构包括底部的驱动电机，由驱动电机带动的转动轴，设置在转动上方的晶圆片放置平台，晶圆片放置平台外围设置有胶液遮挡罩。晶圆片要求与晶圆片放置平台同心放置，才能保证设备运行的平稳性。当驱动电机出现故障或者晶圆片放置不在正中间时，均会导致胶液涂覆不均匀，从而使晶圆片变成废片，造成生产成本增高。因此，需要在涂胶前对驱动电机是否运行正常及晶圆片的位置是否合理进行检测，再实时涂胶，确保涂胶的均匀性，提高产品合格率。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种涂胶机运行稳定性检测系统，解决现有涂胶机在涂胶前设备是否运行稳定不能准确的获知，易导致涂胶不均匀的问题。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种涂胶机运行稳定性检测系统，包括驱动电机，由驱动电机带动的转动轴，设置在转动轴上的晶圆片放置平台，还设置有用于检测驱动电机振动频率的振动频率测试仪，所述振动频率测试仪连接设置有PLC控制器，PLC控制器通信连接设置有主显示屏及报警装置，PLC控制器接收振动频率测试仪的信号并传输给PLC控制器，同时控制报警装置工作。

为方便现场观测，所述振动频率测试仪上设置有用于显示振动频率的振动频率显示器；为提高测量的精度，所述振动频率测试仪的探头安装在驱动电机的壳体上且靠近转动轴的位置处。

优选的，所述报警装置包括警报灯及蜂鸣器。

本实用新型的有益效果：本实用新型通过在振动频率测试仪检测驱动电机的振动频率，从而获知放置晶圆片后设备是否运行正常，从而及时做出调整，保证晶圆片涂胶时设备运行稳定，提高涂胶的均匀性，保证产品加工的质量。同时通过PLC控制器进行远程传输和监控，还通过PLC及时做出报警信号，以便及时做出调整。

以下将结合附图和实施例，对本实用新型进行较为详细的说明。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

实施例，如图1所示，一种涂胶机运行稳定性检测系统，包括驱动电机1，由驱动电机1带动的转动轴2，设置在转动轴2上的晶圆片放置平台3，晶圆片放置在晶圆片放置平台3上进行涂胶。还设置有用于检测驱动电机振动频率的振动频率测试仪4，所述振动频率测试仪4上设置有用于显示振动频率的振动频率显示器5，方便现场读取振动频率。所述振动频率测试仪4的探头安装在驱动电机1的壳体上且靠近转动轴2的位置处，从而能够更加精确的获得转动轴2摆幅造成的驱动电机1振动频率异常。此处的原理是：当晶圆片放置位置与晶圆片放置平台3不同心时，或者驱动电机发生故障时，驱动电机上的转动频率都会发生显著的变化，因此，可以通过振动频率测试仪4检测驱动电机1的转动频率，来判定晶圆片的放置位置是否合理以及驱动电机1是否正常工作。因此，可以在涂胶前将晶圆片放置好后进行转动，看振动频率是否在设定范围内，不在范围内时及时做出检查和调整，从而保证涂胶的均匀性。同时，还可以检测涂胶过程中的振动频率，保证涂胶过程的平稳进行。