[实用新型]一种芯片脏污自动检测装置有效
| 申请号： | 202122133463.3 | 申请日： | 2021-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN215894362U | 公开（公告）日： | 2022-02-22 |
| 发明（设计）人： | 刘金杰;廖茂密 | 申请（专利权）人： | 昆山普杰科特半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01;G01N21/94 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 王美章 |
| 地址： | 215331 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种芯片脏污自动检测装置，包括检测组件，用于对待检测的芯片拍照取像，以获取芯片上尘点的位置信息；照明组件，用于对待检测的芯片进行照明来辅助完成检测工作，其包括：第一光源件，其设于检测组件的一侧并与检测组件固定连接；第二光源件，包括若干组，若干组第二光源件沿圆周方向间隔并均匀排布于检测组件的输出端。自动检测装置还包括竖向设置的安装板；检测组件包括：图像传感器，其通过第一固定件与安装板相装配；检测镜头，其平行于安装板并通过第二固定件与安装板相装配，且其顶端与图像传感器相接。第一光源件装配于检测镜头的侧壁上，且其照明光路与检测镜头的检测光路同轴设置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 芯片 脏污 自动检测 装置 | ||
【主权项】：
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