[实用新型]一种芯片脏污自动检测装置

说明书

本实用新型公开了一种芯片脏污自动检测装置，包括检测组件，用于对待检测的芯片拍照取像，以获取芯片上尘点的位置信息；照明组件，用于对待检测的芯片进行照明来辅助完成检测工作，其包括：第一光源件，其设于检测组件的一侧并与检测组件固定连接；第二光源件，包括若干组，若干组第二光源件沿圆周方向间隔并均匀排布于检测组件的输出端。自动检测装置还包括竖向设置的安装板；检测组件包括：图像传感器，其通过第一固定件与安装板相装配；检测镜头，其平行于安装板并通过第二固定件与安装板相装配，且其顶端与图像传感器相接。第一光源件装配于检测镜头的侧壁上，且其照明光路与检测镜头的检测光路同轴设置。

技术领域

本实用新型涉及半导体芯片检测设备技术领域，具体为一种芯片脏污自动检测装置。

背景技术

为了满足量产需求，半导体芯片的电性必须是可预测且稳定，对于掺杂物的纯度、半导体晶格结构，包括外界环境的种种因素，各关把控都必须严格。半导体芯片上脏污、尘点的存在更是不允许的，会对半导体芯片的性能造成不必要的影响。其形成的原因主要是人工在显微镜目视检测时导致芯片被手动粘尘，同时人工检测的效率低下，容易造成漏检和二次污染，而且需要消耗大量人力、物力，导致半导体芯片生产的品质不能够得到保证。

因此，本实用新型于提供一种芯片脏污自动检测装置，以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种芯片脏污自动检测装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供如下技术方案：一种芯片脏污自动检测装置，包括：

安装板，其沿竖直方向设置；

检测组件，用于对待检测的芯片拍照取像，以获取芯片上尘点的位置信息；

照明组件，用于对待检测的芯片进行照明来辅助完成检测工作。

进一步的，所述检测组件包括：

图像传感器，其通过第一固定件与所述安装板相装配；

检测镜头，其平行于所述安装板并通过第二固定件与所述安装板相装配，且其顶端与所述图像传感器相接。

进一步的，所述照明组件包括：

第一光源件，其固定装配于所述检测镜头的侧壁上，且其照明光路与所述检测镜头的检测光路同轴设置，旨在针对摄像头模组特点，检测镜头在第一光源件的同轴照明下，更为准确的获取图像信息；

第二光源件，包括若干组，若干组所述第二光源件沿圆周方向间隔并均匀排布于所述检测镜头的输出端，且其与所述检测镜头的中轴线倾斜设置，旨在实现芯片的多角度照亮，辅助检测镜头准确获取晶圆上脏污、尘点等缺陷类型图像。

进一步的，所述第一光源与第二光源件的照明光路汇集成一点并落至待测芯片上，因脏污、尘点等是有厚度、有体积的，旨在从多个侧面、不同角度照亮芯片，即准确获取晶圆上脏污、尘点等缺陷的位置信息。

进一步的，所述第二光源件通过调节固定架与所述安装板相连，所述调节固定架包括：

固定环，其横向固定于所述安装板的底端，并与所述检测镜头同轴设置；

调节吊耳，一组所述第二光源件对应设置一个调节吊耳，若干个所述调节吊耳以中心对称形式垂直并固定于所述固定环的底部；

连接件，所述第二光源件通过连接件与所述调节吊耳相装配，所述调节吊耳上开设有条状弧形的滑槽，所述连接件通过所述滑槽与调节吊耳滑动连接。目的在于：一是对第二光源件进行固定，保证检测过程中的稳定性；二是通过设置滑槽，方便实现第二光源件的角度调节，提高检测装置的普适性。