[实用新型]高精度垂直运动气浮台有效
| 申请号： | 202122119524.0 | 申请日： | 2021-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN214583051U | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 肖国丰;陈志强 | 申请（专利权）人： | 北京瑞邦精控科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;H02K7/14;H02K41/02 |
| 代理公司： | 北京远大卓悦知识产权代理有限公司 11369 | 代理人： | 俞牡丹 |
| 地址： | 101319 北京市顺义*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种高精度垂直运动气浮台，包括气浮直线台，所述气浮直线台包括气浮导轨及套设于气浮导轨之上的滑台，所述气浮直线台采用直线电机驱动，其特征在于，还包括固定座、气缸，所述气浮直线台竖直安装于固定座装载面上，使滑台在竖直方向上下运动，所述气缸竖直安装于固定座背面，其缸体一端固定于固定座上，活塞杆一端通过连接件连接于滑台顶端。本实用新型的高精度垂直运动气浮台采用单气缸结构，可避免采用两个气缸时气缸之间较力现象的发生，进而提高垂向气浮直线台的运行精度。 | ||
| 搜索关键词： | 高精度 垂直 运动 浮台 | ||
【主权项】：
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