[实用新型]高精度垂直运动气浮台

权利要求书

1.高精度垂直运动气浮台，包括气浮直线台，所述气浮直线台包括气浮导轨及套设于所述气浮导轨之上的滑台，所述气浮直线台采用直线电机驱动，其特征在于，还包括固定座、气缸，所述气浮直线台竖直安装于所述固定座的装载面上，使所述滑台在竖直方向上下运动，所述气缸竖直安装于所述固定座的背面，所述气缸的缸体一端固定于所述固定座上，活塞杆一端通过连接件连接于所述滑台顶端。

2.如权利要求1所述的高精度垂直运动气浮台，其特征在于，所述连接件包括气缸转接件、浮动接头，所述气缸转接件的一端与所述滑台的顶端连接，所述气缸转接件的另一端与所述浮动接头的一端连接，所述浮动接头的另一端与所述气缸的活塞杆顶端连接。

3.如权利要求1所述的高精度垂直运动气浮台，其特征在于，还包括调压阀，所述调压阀固定于所述固定座的背面，位于所述气缸的下方，所述调压阀通过软管与所述气缸连接，用于调节通入所述气缸内气体压力。

4.如权利要求1所述的高精度垂直运动气浮台，其特征在于，所述气浮导轨的安装面两侧沿所述滑台滑动方向上固定有一对预载条，所述滑台两侧固定有与所述预载条相对应的永磁铁。

5.如权利要求1所述的高精度垂直运动气浮台，其特征在于，所述滑台上设置有气管接头及与所述气管接头连通的气路通道，所述气路通道上设有垂向气浮导轨的出气口。

6.如权利要求5所述的高精度垂直运动气浮台，其特征在于，所述气路通道的出气口处镶嵌红宝石材质的节流气嘴，所述节流气嘴端部设有0.2mm的节流小孔。

7.如权利要求1所述的高精度垂直运动气浮台，其特征在于，所述直线电机包括电机定子和电机动子，其中，所述电机定子固定安装于所述滑台上，所述电机动子固定安装于所述气浮导轨上。

8.如权利要求1所述的高精度垂直运动气浮台，其特征在于，所述气浮直线台还包括位置信息反馈系统，包含光栅尺和读数头，其中所述光栅尺安装于所述滑台上，所述读数头安装于所述气浮导轨上。

9.如权利要求1所述的高精度垂直运动气浮台，其特征在于，所述气浮导轨安装面设有过线槽，所述固定座与所述气浮导轨连接侧的底端设有过线孔，所述固定座底面上还安装有接线盒，所述气浮直线台上的连接线缆固定于所述过线槽内，并穿过所述过线孔通入到所述接线盒中。

10.如权利要求1所述的高精度垂直运动气浮台，其特征在于，所述固定座底面上设有通孔，所述滑台表面设有安装孔。