[实用新型]高精度垂直运动气浮台

说明书

本实用新型公开了一种高精度垂直运动气浮台，包括气浮直线台，所述气浮直线台包括气浮导轨及套设于气浮导轨之上的滑台，所述气浮直线台采用直线电机驱动，其特征在于，还包括固定座、气缸，所述气浮直线台竖直安装于固定座装载面上，使滑台在竖直方向上下运动，所述气缸竖直安装于固定座背面，其缸体一端固定于固定座上，活塞杆一端通过连接件连接于滑台顶端。本实用新型的高精度垂直运动气浮台采用单气缸结构，可避免采用两个气缸时气缸之间较力现象的发生，进而提高垂向气浮直线台的运行精度。

技术领域

本实用新型涉及精密仪器设备领域。更具体地说，本实用新型涉及一种高精度垂直运动气浮台。

背景技术

在通讯领域的光纤耦合、半导体领域的缺陷检测、生物医疗领域的基因测序等技术领域中，对测试和扫描的定位精准度要求越来越高，而目前垂向运动台多采用线性导轨进行导向，由于线性导轨属于接触式导向，其运动过程中由于接触摩擦使得其运动产生较大误差，降低平台的精度。

气浮导轨基于气体动静压效应，实现无摩擦和无振动的平滑移动。它具有运动精度高、清洁无污染等特点。因其误差均化作用，可用比较低的制造精度来获得较高的导向精度。

现有的气浮运动台中多采用双气缸用以平衡运动负载的重量，而采用双气缸的方式往往会因为两气缸安装时不能完全平行，进而在运动的过程中气缸之间会发生相互较力，影响运动台的运行精度，严重时甚至会导致运动台不能运动。

实用新型内容

本实用新型的一个目的是提供一种高精度垂直运动气浮台，能够有效解决上述问题，本实用新型的高精度垂直运动气浮台采用单气缸结构，可避免采用两个气缸时气缸之间较力现象的发生，进而提高垂向气浮直线台的运行精度。

为了实现根据本实用新型的这些目的和其它优点，提供了高精度垂直运动气浮台，包括气浮直线台，所述气浮直线台包括气浮导轨及套设于所述气浮导轨之上的滑台，所述气浮直线台采用直线电机驱动，其特征在于，还包括固定座、气缸，所述气浮直线台竖直安装于所述固定座的装载面上，使所述滑台在竖直方向上下运动，所述气缸竖直安装于所述固定座的背面，所述气缸的缸体一端固定于所述固定座上，活塞杆一端通过连接件连接于所述滑台顶端。

优选的是：所述连接件包括气缸转接件、浮动接头，所述气缸转接件的一端与所述滑台的顶端连接，所述气缸转接件的另一端与所述浮动接头的一端连接，所述浮动接头的另一端与所述气缸的活塞杆顶端连接。

优选的是：上述还包括调压阀，所述调压阀固定于所述固定座的背面，位于所述气缸的下方，所述调压阀通过软管与所述气缸连接，用于调节通入所述气缸内气体压力。

优选的是：所述气浮导轨的安装面两侧沿所述滑台滑动方向上固定有一对预载条，所述滑台两侧固定有与所述预载条相对应的永磁铁。

优选的是：所述滑台上设置有气管接头及与所述气管接头连通的气路通道，所述气路通道上设有垂向气浮导轨的出气口。

优选的是：所述气路通道的出气口处镶嵌红宝石材质的节流气嘴，所述节流气嘴端部设有0.2mm的节流小孔。

优选的是：所述直线电机包括电机定子和电机动子，其中，所述电机定子固定安装于所述滑台上，所述电机动子固定安装于所述气浮导轨上。

优选的是：所述气浮直线台还包括位置信息反馈系统，包含光栅尺和读数头，其中所述光栅尺安装于所述滑台上，所述读数头安装于所述气浮导轨上。

优选的是：所述气浮导轨安装面设有过线槽，所述固定座与所述气浮导轨连接侧的底端设有过线孔，所述固定座底面上还安装有接线盒，所述气浮直线台上的连接线缆固定于所述过线槽内，穿过所述过线孔通入到所述接线盒中。

优选的是：所述固定座底面上设有通孔，所述滑台表面设有安装孔。

本实用新型至少包括以下有益效果：