[实用新型]一种硅芯拉制加热装置有效
| 申请号： | 202122102145.0 | 申请日： | 2021-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN215713524U | 公开（公告）日： | 2022-02-01 |
| 发明（设计）人： | 庞巧花;屈武;侯顺军;王志权 | 申请（专利权）人： | 青海亚洲硅业半导体有限公司;亚洲硅业（青海）股份有限公司;青海省亚硅硅材料工程技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/10 | 分类号： | C30B28/10;C30B29/06 |
| 代理公司： | 成都华风专利事务所(普通合伙) 51223 | 代理人： | 张巨箭 |
| 地址： | 810007 青*** | 国省代码： | 青海;63 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种硅芯拉制加热装置，属于多晶硅生产设备技术领域，其包括：石英筒，石英筒上依次绕设有加热炉丝并套设纤维护套；料座，用于固定硅料，硅料另一端置于石英筒内。本实用新型通过加热炉丝对石英筒内的硅料进行加热，石英筒能够隔离加热过程中的金属(加热炉丝)扩散，避免硅料被污染；纤维护套一方面能够避免加热炉丝裸露于空气中，防止加热炉丝的金属微粒扩散对硅料造成污染，另一方面具有保温作用，能够在低功耗下维持较高加热温度，大大降低了电能损耗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 拉制 加热 装置 | ||
【主权项】：
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