[实用新型]一种硅芯拉制加热装置有效
申请号: | 202122102145.0 | 申请日: | 2021-09-02 |
公开(公告)号: | CN215713524U | 公开(公告)日: | 2022-02-01 |
发明(设计)人: | 庞巧花;屈武;侯顺军;王志权 | 申请(专利权)人: | 青海亚洲硅业半导体有限公司;亚洲硅业(青海)股份有限公司;青海省亚硅硅材料工程技术有限公司 |
主分类号: | C30B28/10 | 分类号: | C30B28/10;C30B29/06 |
代理公司: | 成都华风专利事务所(普通合伙) 51223 | 代理人: | 张巨箭 |
地址: | 810007 青*** | 国省代码: | 青海;63 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 拉制 加热 装置 | ||
1.一种硅芯拉制加热装置,其特征在于:其包括:
石英筒(1),石英筒(1)上依次绕设有加热炉丝(2)并套设纤维护套(5);
料座(3),用于固定硅料,硅料另一端置于石英筒(1)内。
2.根据权利要求1所述硅芯拉制加热装置,其特征在于:所述石英筒(1)上硅料进料口的相对端设有硅芯(14),硅芯(14)另一端连接至籽晶头(12),且硅芯(14)外套设有工作线圈(13),硅芯(14)穿过工作线圈(13)经硅芯进料口置入石英筒(1)内。
3.据权利要求1所述硅芯拉制加热装置,其特征在于:所述加热炉丝(2)均匀绕设于石英筒(1)上。
4.据权利要求1所述硅芯拉制加热装置,其特征在于:所述石英筒(1)与纤维护套(5)之间设有隔热层(6)。
5.据权利要求1所述硅芯拉制加热装置,其特征在于:所述纤维护套(5)内填充有隔热材料。
6.据权利要求1所述硅芯拉制加热装置,其特征在于:所述装置还包括加热套管(4),加热套管(4)与外部供电端连接;加热套管(4)内设有电缆,电缆与加热炉丝(2)连接。
7.根据权利要求1所述硅芯拉制加热装置,其特征在于:所述石英筒(1)经固定件(7)固定于炉膛内。
8.根据权利要求7所述硅芯拉制加热装置,其特征在于:所述固定件(7)为固定尺寸可调的固定件(7)。
9.根据权利要求1所述硅芯拉制加热装置,其特征在于:所述料座(3)具体为具有升降功能的料座(3)。
10.根据权利要求9所述硅芯拉制加热装置,其特征在于:所述料座(3)经支撑件连接至电机。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于青海亚洲硅业半导体有限公司;亚洲硅业(青海)股份有限公司;青海省亚硅硅材料工程技术有限公司,未经青海亚洲硅业半导体有限公司;亚洲硅业(青海)股份有限公司;青海省亚硅硅材料工程技术有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202122102145.0/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种用于气象测控的风杆支撑装置
- 下一篇:一种排水板生产设备