[实用新型]一种硅芯拉制加热装置有效

专利信息
申请号: 202122102145.0 申请日: 2021-09-02
公开(公告)号: CN215713524U 公开(公告)日: 2022-02-01
发明(设计)人: 庞巧花;屈武;侯顺军;王志权 申请(专利权)人: 青海亚洲硅业半导体有限公司;亚洲硅业(青海)股份有限公司;青海省亚硅硅材料工程技术有限公司
主分类号: C30B28/10 分类号: C30B28/10;C30B29/06
代理公司: 成都华风专利事务所(普通合伙) 51223 代理人: 张巨箭
地址: 810007 青*** 国省代码: 青海;63
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摘要:
搜索关键词: 一种 拉制 加热 装置
【权利要求书】:

1.一种硅芯拉制加热装置,其特征在于:其包括:

石英筒(1),石英筒(1)上依次绕设有加热炉丝(2)并套设纤维护套(5);

料座(3),用于固定硅料,硅料另一端置于石英筒(1)内。

2.根据权利要求1所述硅芯拉制加热装置,其特征在于:所述石英筒(1)上硅料进料口的相对端设有硅芯(14),硅芯(14)另一端连接至籽晶头(12),且硅芯(14)外套设有工作线圈(13),硅芯(14)穿过工作线圈(13)经硅芯进料口置入石英筒(1)内。

3.据权利要求1所述硅芯拉制加热装置,其特征在于:所述加热炉丝(2)均匀绕设于石英筒(1)上。

4.据权利要求1所述硅芯拉制加热装置,其特征在于:所述石英筒(1)与纤维护套(5)之间设有隔热层(6)。

5.据权利要求1所述硅芯拉制加热装置,其特征在于:所述纤维护套(5)内填充有隔热材料。

6.据权利要求1所述硅芯拉制加热装置,其特征在于:所述装置还包括加热套管(4),加热套管(4)与外部供电端连接;加热套管(4)内设有电缆,电缆与加热炉丝(2)连接。

7.根据权利要求1所述硅芯拉制加热装置,其特征在于:所述石英筒(1)经固定件(7)固定于炉膛内。

8.根据权利要求7所述硅芯拉制加热装置,其特征在于:所述固定件(7)为固定尺寸可调的固定件(7)。

9.根据权利要求1所述硅芯拉制加热装置,其特征在于:所述料座(3)具体为具有升降功能的料座(3)。

10.根据权利要求9所述硅芯拉制加热装置,其特征在于:所述料座(3)经支撑件连接至电机。

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