[实用新型]一种硅芯拉制加热装置

说明书

本实用新型公开了一种硅芯拉制加热装置，属于多晶硅生产设备技术领域，其包括：石英筒，石英筒上依次绕设有加热炉丝并套设纤维护套；料座，用于固定硅料，硅料另一端置于石英筒内。本实用新型通过加热炉丝对石英筒内的硅料进行加热，石英筒能够隔离加热过程中的金属(加热炉丝)扩散，避免硅料被污染；纤维护套一方面能够避免加热炉丝裸露于空气中，防止加热炉丝的金属微粒扩散对硅料造成污染，另一方面具有保温作用，能够在低功耗下维持较高加热温度，大大降低了电能损耗。

技术领域

本实用新型涉及多晶硅生产设备技术领域，尤其涉及一种硅芯拉制加热装置。

背景技术

硅芯炉在拉制硅芯前需要在炉膛中对硅料进行预加热处理，目前采用的是利用工作线圈对石墨片进行涡流预加热，预加热时用电位器需调整电压至约4000V，电流至2A，用时约10-30分钟，加热功耗大且时间长，需要耗费大量电能；进一步地，在预加热工作完成抽取石墨片时连接元件易断裂，故障率高，针对上述问题，本实用新型提出了一种硅芯拉制加热装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有硅料预加热中过程中功耗大的问题，提供了一种硅芯拉制加热装置。

本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的：一种硅芯拉制加热装置，其具体包括：石英筒，石英筒上依次绕设有加热炉丝并套设纤维护套；料座，用于固定硅料，硅料另一端置于石英筒内。

在一示例中，所述所述石英筒上硅料进料口的相对端设有硅芯，硅芯另一端连接至籽晶头，且硅芯外套设有工作线圈，硅芯穿过工作线圈经硅芯进料口置入石英筒内。

在一示例中，所述加热炉丝均匀绕设于石英筒上。

在一示例中，所述石英筒与纤维护套之间设有隔热层。

在一示例中，纤维护套内填充有隔热材料。

在一示例中，所述装置还包括加热套管，加热套管与外部供电端连接；加热套管内设有电缆，电缆与加热炉丝连接。

在一示例中，所述石英筒经固定件固定于炉膛内。

在一示例中，所述固定件为固定尺寸可调的固定件。

在一示例中，所述料座具体为具有升降功能的料座。

在一示例中，所述料座经支撑件连接至电机。

需要进一步说明的是，上述各示例对应的技术特征可以相互组合或替换构成新的技术方案。

与现有技术相比，本实用新型有益效果是：

(1)在一示例中，通过加热炉丝对石英筒内的硅料进行加热，石英筒能够隔离加热过程中的金属(加热炉丝)扩散，避免硅料被污染；纤维护套一方面能够避免加热炉丝裸露于空气中，防止加热炉丝的金属微粒扩散对硅料造成污染，另一方面具有保温作用，能够在低功耗下维持较高加热温度，大大降低了电能损耗。

(2)在一示例中，硅芯穿过工作线圈经硅芯进料口置入石英筒内，在硅料预加热完成后即可进行硅芯生长拉制处理，即预加热工作完成后无需取件，不会导致元件的断裂损坏即可进行后续硅芯生长拉制工作，大大降低了故障率。

(3)在一示例中，加热炉丝均匀绕设于石英筒上，以对石英筒均匀加热，保证硅料的预加热效率。

(4)在一示例中，通过加热套管保护电缆，延长电缆在炉膛内的使用寿命。

(5)在一示例中，隔热层以及隔热材料进一步为石英筒保温，保证硅料加热效率。

(6)在一示例中，通过固定尺寸可调的固定件，可适应不同尺寸的石英筒，应用于五芯硅芯炉、七芯硅芯炉等硅料预加热场景。

(7)在一示例中，通过具有升降功能料座调节置于石英筒内硅料的高度，利于整个硅芯拉制过程的实现。