[实用新型]位移检测装置和物镜驱动机构有效
申请号: | 202122012048.2 | 申请日: | 2021-08-25 |
公开(公告)号: | CN215338153U | 公开(公告)日: | 2021-12-28 |
发明(设计)人: | 王振华;黄孝山;朱凯;许良;刘如德 | 申请(专利权)人: | 上海隐冠半导体技术有限公司 |
主分类号: | G01B7/02 | 分类号: | G01B7/02;G02B21/02;G02B21/32 |
代理公司: | 上海上谷知识产权代理有限公司 31342 | 代理人: | 胡五荣;蔡继清 |
地址: | 200135 上海市浦东*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种位移检测装置和物镜驱动机构,位移检测装置包括:应变片安装机构、应变片和检测单元,应变片安装机构包括驱动件和两个弹性件,两个弹性件的一端沿水平方向分别固定至驱动件的两端,两个弹性件的另一端均相对待测件固定,驱动件连接至待测件,驱动件可沿垂直于弹性片表面方向移动并驱动弹性片弹性形变;两个应变片分别贴设于两个弹性件上,应变片构造成在通电且形变后产生电压变化;检测单元与应变片电连接,用于获取应变片的电压,并根据电压获取待测件的位移。采用本申请中的位移检测装置后,能够测量出物镜驱动机构的输出位移,保证物镜驱动机构的运行精度和控制精度,从而提高显微镜的实用性。 | ||
搜索关键词: | 位移 检测 装置 物镜 驱动 机构 | ||
【主权项】:
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