[实用新型]位移检测装置和物镜驱动机构

说明书

本实用新型公开了一种位移检测装置和物镜驱动机构，位移检测装置包括：应变片安装机构、应变片和检测单元，应变片安装机构包括驱动件和两个弹性件，两个弹性件的一端沿水平方向分别固定至驱动件的两端，两个弹性件的另一端均相对待测件固定，驱动件连接至待测件，驱动件可沿垂直于弹性片表面方向移动并驱动弹性片弹性形变；两个应变片分别贴设于两个弹性件上，应变片构造成在通电且形变后产生电压变化；检测单元与应变片电连接，用于获取应变片的电压，并根据电压获取待测件的位移。采用本申请中的位移检测装置后，能够测量出物镜驱动机构的输出位移，保证物镜驱动机构的运行精度和控制精度，从而提高显微镜的实用性。

技术领域

本实用新型实施例涉及测量领域，特别涉及一种位移检测装置和物镜驱动机构。

背景技术

物镜是由若干个透镜组合而成的一个透镜组。组合使用的目的是为了克服单个透镜的成像缺陷，提高物镜的光学质量。显微镜的放大作用主要取决于物镜，物镜质量的好坏直接影响显微镜映像质量，它是决定显微镜的分辨率和成像清晰程度的主要部件。

为了调节物镜，使其与被测量物之间保持合适的距离。显微镜的控制系统控制物镜驱动机构驱动物镜进行运动，但物镜的运动位移由于没有具体的数据，影响了控制系统的后续操作，从而降低了显微镜的实用性。

实用新型内容

本实用新型实施方式的目的在于提供一种位移检测装置和物镜驱动机构，能够保证物镜驱动机构的运行精度和控制精度，提高显微镜的实用性。

为解决上述技术问题，本实用新型的实施方式提供了一种位移检测装置，该位移检测装置包括：

应变片安装机构，所述应变片安装机构包括驱动件和两个弹性件，两个所述弹性件的一端沿水平方向分别固定至所述驱动件的两端，两个所述弹性件的另一端均相对待测件固定，所述驱动件连接至所述待测件，所述驱动件可沿垂直于所述弹性片表面方向移动并驱动所述弹性片弹性形变；

应变片，两个所述应变片分别贴设于两个所述弹性件上，所述应变片构造成在通电且形变后产生电压变化；

检测单元，所述检测单元与所述应变片电连接，用于获取所述应变片的电压，并根据所述电压获取所述待测件的位移。

采用本申请中的位移检测装置后，能够测量出镜头驱动机构的输出位移，从而提高显微镜的实用性。

在一实施例中，所述驱动件包括：

连接件，两个所述弹性件的一端沿水平方向分别固定至所述连接件的两端；

解耦件，所述解耦件沿垂直于所述弹性件表面方向设置于所述连接件上，所述解耦件远离所述连接件一端的面为圆弧面，所述圆弧面抵接所述待测件。

在一实施例中，所述解耦件为半球体，所述半球体的底面固定至所述连接件，所述半球体的半球面抵接所述待测件。

在一实施例中，还包括用于支撑所述驱动件的支撑件，所述应变片安装机构设置于所述支撑件上，且两个所述弹性件的远离所述驱动件的一端分别固定于所述支撑件上；

所述支撑件设有通孔，所述驱动件通过所述通孔连接至所述待测件。

本实用新型还提供了一种物镜驱动机构，包括：

外壳，所述外壳内设有容纳腔；

定子，所述定子固定于所述外壳的外壁上；

动子，所述动子可活动地设置于所述外壳的外侧，且与所述定子沿竖直方向相对设置；

压电驱动装置，所述压电驱动装置设置于所述容纳腔内，包括压电驱动单元和柔性放大结构，所述柔性放大结构设置于所述压电驱动单元的外侧，用于放大所述压电驱动单元的输出位移，并沿竖直方向向上输出放大后的位移；