[实用新型]位移检测装置和物镜驱动机构

权利要求书

1.一种用于物镜驱动机构的位移检测装置，其特征在于，包括：

应变片安装机构，所述应变片安装机构包括驱动件和两个弹性件，两个所述弹性件的一端沿水平方向分别固定至所述驱动件的两端，两个所述弹性件的另一端均相对待测件固定，所述驱动件连接至所述待测件，所述驱动件可沿垂直于所述弹性件表面方向移动并驱动所述弹性件弹性形变；

两个应变片，两个所述应变片分别贴设于两个所述弹性件上，所述应变片构造成在通电且形变后产生电压变化；

检测单元，所述检测单元与各所述应变片电连接，用于获取所述应变片的电压，并根据所述电压获取所述待测件的位移，所述检测单元与显微镜的控制系统电性连接。

2.根据权利要求1所述的用于物镜驱动机构的位移检测装置，其特征在于，所述驱动件包括：

连接件，两个所述弹性件的一端沿水平方向分别固定至所述连接件的两端；

解耦件，所述解耦件沿垂直于所述弹性件表面方向设置于所述连接件上，所述解耦件远离所述连接件一端的面为圆弧面，所述圆弧面抵接所述待测件。

3.根据权利要求2所述的用于物镜驱动机构的位移检测装置，其特征在于，所述解耦件为半球体，所述半球体的底面固定至所述连接件，所述半球体的半球面抵接所述待测件。

4.根据权利要求1所述的用于物镜驱动机构的位移检测装置，其特征在于，还包括用于支撑所述驱动件的支撑件，所述应变片安装机构设置于所述支撑件上，且两个所述弹性件的远离所述驱动件的一端分别固定于所述支撑件上；

所述支撑件设有通孔，所述驱动件通过所述通孔连接至所述待测件。

5.一种物镜驱动机构，其特征在于，包括：

外壳，所述外壳内设有容纳腔；

定子，所述定子固定于所述外壳的外壁上；

动子，所述动子可活动地设置于所述外壳的外侧，且与所述定子沿竖直方向相对设置；

压电驱动装置，所述压电驱动装置设置于所述容纳腔内，包括压电驱动单元和柔性放大结构，所述柔性放大结构设置于所述压电驱动单元的外侧，用于放大所述压电驱动单元的输出位移，并沿竖直方向向上输出放大后的位移；

连接组件，所述连接组件至少部分部位位于所述压电驱动装置上方，且所述连接组件与所述动子连接，所述压电驱动装置构成通电后驱动所述连接组件竖直向上运动；以及

如权利要求1至4任意一项所述的用于物镜驱动机构的位移检测装置，所述驱动件设置于所述连接组件的所述至少部分部位上方，并所述至少部分部位抵靠。

6.根据权利要求5所述的物镜驱动机构，其特征在于，所述驱动件与所述连接组件抵靠的抵靠点与所述压电驱动装置沿水平方向的中心点位于同一竖直方向上。

7.根据权利要求5所述的物镜驱动机构，其特征在于，所述物镜驱动机构还包括导向装置，所述导向装置包括设置于所述连接组件两侧的一对导轨，所述一对导轨沿竖直方向相对设置，且所述连接组件的两端分别沿竖直方向可滑动地连接至所述一对导轨。

8.根据权利要求5所述的物镜驱动机构，其特征在于，所述压电驱动装置包括：

压电驱动单元，所述压电驱动单元为长条形，且所述压电驱动单元的长度方向沿水平方向设置，所述压电驱动单元可操作地通电后沿水平方向膨胀；

竖直设置的一对档靠件，所述一对档靠件相对设置于所述压电驱动单元的两端，且所述压电驱动单元的两端分别连接至所述档靠件；以及

一对水平设置的柔性条，所述柔性条分别设置于所述压电驱动单元的上方和下方，且每个所述柔性条的两端分别与一对所述档靠件连接，形成闭合的所述柔性放大结构；

其中，每个所述柔性条的中部均向所述柔性放大结构的内侧凹陷。

9.根据权利要求8所述的物镜驱动机构，其特征在于，每个所述柔性条包括多个硬管段和多个柔性带段，各所述硬管段与各所述柔性带段交替设置。

10.根据权利要求5所述的物镜驱动机构，其特征在于，所述物镜驱动机构还包括设置于所述连接组件下方的弧形簧片，所述簧片朝所述连接组件方向凸起并支撑所述连接组件。