[实用新型]治具有效
| 申请号： | 202121819300.4 | 申请日： | 2021-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN215365969U | 公开（公告）日： | 2021-12-31 |
| 发明（设计）人： | 王鑫;杨全 | 申请（专利权）人： | 广州粤芯半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 罗磊 |
| 地址： | 510000 广东省广州市中新广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种治具，用于检测第一环与第二环之间的间隙宽度，所述第二环环绕所述第一环设置，所述治具包括固定装置、活动装置和检测装置；所述固定装置包括环形固定部，所述活动装置包括至少三个对称设置的活动部，至少三个所述活动部和所述固定部滑动连接，至少三个所述活动部用于沿所述第一环的径向朝不同方向移动直至与所述第二环的内壁接触；所述检测装置用于获取当活动部与第二环的内壁接触时活动部与第一环或固定部之间的相对位置，从而确定间隙宽度。该治具可用于精确、快速且方便地测量半导体设备上的两个防护环之间的间隙宽度，而且结构简单，携带方便。 | ||
| 搜索关键词： | 治具 | ||
【主权项】：
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