[实用新型]治具有效
| 申请号: | 202121819300.4 | 申请日: | 2021-08-05 |
| 公开(公告)号: | CN215365969U | 公开(公告)日: | 2021-12-31 |
| 发明(设计)人: | 王鑫;杨全 | 申请(专利权)人: | 广州粤芯半导体技术有限公司 |
| 主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50 |
| 代理公司: | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人: | 罗磊 |
| 地址: | 510000 广东省广州市中新广州*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 治具 | ||
1.一种治具,用于检测第一环与第二环之间的间隙宽度,所述第二环环绕所述第一环设置,其特征在于,所述治具包括固定装置、活动装置和检测装置;
所述固定装置包括环形固定部,所述固定部用于套设在所述第一环的外周上;
所述活动装置包括至少三个对称设置的活动部,至少三个所述活动部与所述固定部滑动连接,至少三个所述活动部用于沿所述第一环的径向朝不同方向移动直至与所述第二环的内壁接触;
所述检测装置用于获取当所述活动部与所述第二环的内壁接触时所述活动部与所述第一环或所述固定部之间的相对位置,以根据所述相对位置确定所述间隙宽度。
2.如权利要求1所述的治具,其特征在于,所述活动装置还包括驱动部,与所述活动部连接;所述驱动部用于驱动所述活动部移动。
3.如权利要求2所述的治具,其特征在于,所述驱动部包括驱动杆,所述驱动杆用于沿第一方向移动并推动所述活动部沿第二方向移动,所述第二方向为所述第一环的径向方向,所述第一方向垂直于所述第二方向。
4.如权利要求2或3所述的治具,其特征在于,所述活动部的数量为四个,四个所述活动部沿所述固定部的周向对称布置,且四个所述活动部的结构相同并用于同步运动。
5.如权利要求4所述的治具,其特征在于,所述活动部包括推杆,所述推杆具有相对的第一端和第二端,四个所述推杆的第一端用于与所述第二环的内壁接触,四个所述推杆的第二端相交于所述第一环的中心处,且四个所述推杆被配置为用于同步运动。
6.如权利要求5所述的治具,其特征在于,所述固定部上设置有径向贯通的第一凹槽,所述第一凹槽的数量与所述推杆的数量相同,四个所述推杆分别滑动地穿过对应的一个所述第一凹槽。
7.如权利要求6所述的治具,其特征在于,所述固定装置还包括连杆和套筒,所述连杆的数量与所述推杆的数量一致,四根所述连杆沿所述固定部周向对称设置;
所述连杆具有相对的第三端和第四端;四根所述连杆的第三端固定连接于所述固定部,第四端相交于所述固定部的中心处并与所述套筒固定连接,所述套筒垂直于所述连杆设置;
四根所述连杆沿轴向贯通设置有第二凹槽;每根所述连杆的所述第二凹槽与对应的一个所述第一凹槽连通设置;
四根所述推杆分别用于滑动地设置于对应的一个所述第一凹槽与所述第二凹槽形成的容纳空间中;
所述驱动部包括驱动杆,所述驱动杆用于活动地穿设在所述套筒内,所述驱动杆用于驱动四根所述推杆同步运动。
8.如权利要求7所述的治具,其特征在于,所述套筒在其延伸方向上贯通设置有第三凹槽,所述第一凹槽经所述第二凹槽与所述第三凹槽连通,所述驱动杆用于活动地穿设在所述第三凹槽中。
9.如权利要求7所述的治具,其特征在于,所述驱动杆的一部分设置在所述套筒外。
10.如权利要求7所述的治具,其特征在于,所述推杆和所述驱动杆为一体成型结构并被配置为能够弯折。
11.如权利要求5所述的治具,其特征在于,所述活动装置还包括推板,每根所述推杆的所述第一端连接一个所述推板,所述推板的外侧面用于接触所述第二环的内壁,所述推板的横截面面积大于所述推杆的横截面面积。
12.如权利要求11所述的治具,其特征在于,所述推板的外侧面的形状与所述第二环的内壁形状相对应。
13.如权利要求1-3中任一所述的治具,其特征在于,所述检测装置包括设置在所述活动部上的刻度尺,所述刻度尺用于沿所述活动部的移动方向布置,以根据所述刻度尺的读数获取所述活动部与所述第一环或所述固定部之间的相对位置。
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