[实用新型]一种用于清洁治具的装置有效
| 申请号： | 202121797932.5 | 申请日： | 2021-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN216226059U | 公开（公告）日： | 2022-04-08 |
| 发明（设计）人： | 聂伟;陈志远;林育全;丁培杰 | 申请（专利权）人： | 厦门通富微电子有限公司 |
| 主分类号： | B08B15/02 | 分类号： | B08B15/02;B08B5/04;B08B15/04 |
| 代理公司： | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人： | 郭栋梁 |
| 地址： | 361000 福建省厦门市中国（福建）自由贸易试验区*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种用于清洁治具的装置，其包括：本体，包括承载面，所述承载面用于放置治具；罩壳，罩设于所述承载面，所述罩壳上设置有第一开孔；吸尘组件，用于收集污染物，所述吸尘组件连接至所述第一开孔，以使所述罩壳内的所述污染物进入所述吸尘组件内，并将所述污染物收集。本申请通过罩壳罩设于承载面上，将污染物罩设，避免污染物污染周围的空间，然后，通过吸尘组件吸收罩壳内的污染物，并将污染物收集，进而从根本上解决污染物再次污染治具。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 清洁 装置 | ||
【主权项】：
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