[实用新型]一种用于清洁治具的装置有效

专利信息
申请号: 202121797932.5 申请日: 2021-08-03
公开(公告)号: CN216226059U 公开(公告)日: 2022-04-08
发明(设计)人: 聂伟;陈志远;林育全;丁培杰 申请(专利权)人: 厦门通富微电子有限公司
主分类号: B08B15/02 分类号: B08B15/02;B08B5/04;B08B15/04
代理公司: 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 代理人: 郭栋梁
地址: 361000 福建省厦门市中国(福建)自由贸易试验区*** 国省代码: 福建;35
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 清洁 装置
【权利要求书】:

1.一种用于清洁治具的装置,其特征在于,包括:

本体,包括承载面,所述承载面用于放置治具;

罩壳,罩设于所述承载面,所述罩壳上设置有第一开孔;

吸尘组件,用于收集污染物,所述吸尘组件连接至所述第一开孔,以使所述罩壳内的所述污染物进入所述吸尘组件内,并将所述污染物收集。

2.根据权利要求1所述的用于清洁治具的装置,其特征在于,所述本体上设置有空腔,所述承载面上设置有若干个与所述空腔连通的第一漏尘孔。

3.根据权利要求2所述的用于清洁治具的装置,其特征在于,所述空腔位于承载面的正下方,所述空腔自上至下逐渐减小。

4.根据权利要求2所述的用于清洁治具的装置,其特征在于,所述空腔底部对应的本体的表面上设置有第二开孔,所述第二开孔用于与所述吸尘组件连接。

5.根据权利要求2所述的用于清洁治具的装置,其特征在于,所述罩壳包括侧壁,所述侧壁上设置有操作口,所述操作口用于进行清洗作业。

6.根据权利要求5所述的用于清洁治具的装置,其特征在于,所述承载面远离所述操作口的位置还设置有第二漏尘孔,所述第二漏尘孔大于所述第一漏尘孔。

7.根据权利要求5所述的用于清洁治具的装置,其特征在于,还包括围挡组件,所述围挡组件朝向所述操作口设置。

8.根据权利要求7所述的用于清洁治具的装置,其特征在于,所述围挡组件包括滑轨、若干个滑块及柔性的围挡件,各所述滑块与所述滑轨滑动配合,所述围挡件连接至各所述滑块,各所述滑块沿所述滑轨滑动且相邻两所述滑块间距扩大,以使所述围挡展开;各所述滑块沿所述滑轨滑动且相邻两所述滑块间距缩小,以使所述围挡件收拢。

9.根据权利要求8所述的用于清洁治具的装置,其特征在于,所述滑轨与所述罩壳之间存在间距,自所述滑轨两端向所述罩壳方向延伸,并连接至所述罩壳上。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的用于清洁治具的装置,其特征在于,所述吸尘组件包括抽气泵、过滤器及连接管,所述连接管的一端连接至所述第一开孔,所述连接管的另一端连接至所述抽气泵,所述过滤器设置于连接管内。

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